Chapter 14

ZnO ドーピング実験データ解析レポート

HISAHO NAKATA
HISAHO NAKATA
2026.03.02に更新
項目 内容
レポートID RPT-2026-001
対象データ data/experiment-results.csv (EXP-001 〜 EXP-010)
サンプル数 10 条件
解析日 2026-03-02
解析ツール Python 3.12 / SciPy 1.15 / pandas / seaborn

目次

  1. 実験条件一覧
  2. 基本統計量
  3. ドーピング元素ごとのバンドギャップ比較
  4. 濃度–抵抗率の相関分析
  5. 異常値検出
  6. ヒートマップ・可視化
  7. 総合考察と推奨事項
  8. 付録

1. 実験条件一覧

条件 元素 濃度 (at%) 温度 (°C) 雰囲気 BG (eV) 抵抗率 (Ω·cm) 透過率 (%) 備考
EXP-001 Al 2.0 500 N₂ 3.42 6.67×10⁻³ 85.2
EXP-002 Al 3.0 600 N₂ 3.48 5.00×10⁻³ 82.1
EXP-003 Al 3.0 600 Ar 3.46 5.50×10⁻³ 83.5
EXP-004 Ga 1.5 550 N₂ 3.40 8.33×10⁻³ 88.0
EXP-005 Ga 4.0 700 N₂ 3.52 5.56×10⁻³ 78.5
EXP-006 Ga 4.0 700 O₂ 3.50 6.00×10⁻³ 80.2
EXP-007 In 2.0 600 N₂ 3.43 6.25×10⁻³ 84.0
EXP-008 In 4.5 650 N₂ 3.38 7.14×10⁻³ 75.3 In偏析の兆候
EXP-009 Al 3.5 650 N₂ 3.50 4.76×10⁻³ 81.0
EXP-010 Al 1.0 400 N₂ 3.39 1.00×10⁻² 90.1

パラメーター範囲:

  • ドーピング元素: Al (n=5), Ga (n=3), In (n=2)
  • 濃度: 1.0 – 4.5 at%
  • 焼成温度: 400 – 700°C
  • 雰囲気: N₂ (n=8), Ar (n=1), O₂ (n=1)

2. 基本統計量

2.1 全体統計

変数 平均 SD 最小 Q1 中央値 Q3 最大 CV(%) 歪度 尖度
濃度 (at%) 2.85 1.18 1.00 2.00 3.00 3.88 4.50 41.4 −0.19 −1.28
温度 (°C) 595.0 92.6 400 562.5 600 650 700 15.6 −1.00 0.97
BG (eV) 3.448 0.051 3.38 3.405 3.445 3.495 3.52 1.5 0.04 −1.66
抵抗率 (Ω·cm) 6.52×10⁻³ 1.62×10⁻³ 4.76×10⁻³ 5.52×10⁻³ 6.13×10⁻³ 7.02×10⁻³ 1.00×10⁻² 24.8 1.22 1.24
透過率 (%) 82.8 4.4 75.3 80.4 82.8 84.9 90.1 5.3 0.04 −0.12

所見: 抵抗率の CV(24.8%) が最も大きく、濃度・温度条件による変動が顕著。バンドギャップは CV=1.5% と安定しており、ドーピングによる BG シフトは小さい。抵抗率分布は正の歪み(右裾が長い)を示し、EXP-010 の高抵抗率が要因。

2.2 元素別統計

元素 n BG (eV) 抵抗率 (Ω·cm) 透過率 (%)
Al 5 3.450 ± 0.045 6.39×10⁻³ ± 2.15×10⁻³ 84.4 ± 3.6
Ga 3 3.473 ± 0.064 6.63×10⁻³ ± 1.49×10⁻³ 82.2 ± 5.1
In 2 3.405 ± 0.035 6.69×10⁻³ ± 0.63×10⁻³ 79.7 ± 6.2

所見: Al が最も低い平均抵抗率と最も高い平均透過率を示す。In は透過率の SD が最大 (6.2%) で、EXP-008 の偏析によるばらつきが寄与。

2.3 雰囲気別統計

雰囲気 n 抵抗率 (Ω·cm) 透過率 (%)
N₂ 8 6.71×10⁻³ 83.0
Ar 1 5.50×10⁻³ 83.5
O₂ 1 6.00×10⁻³ 80.2

所見: Ar・O₂ 雰囲気は各 1 条件のため統計的考察は限定的。EXP-002 (N₂) vs EXP-003 (Ar) の同一濃度・温度比較では、Ar の方がわずかに抵抗率が高く、透過率も高い。


3. ドーピング元素ごとのバンドギャップ比較

3.1 検定法の選定

判断基準 評価
サンプルサイズ Al=5, Ga=3, In=2 → 小標本
正規性検証 n < 5 の群があり Shapiro-Wilk 検定は不安定
等分散性 検証困難
採用検定 Kruskal-Wallis 検定(ノンパラメトリック 3 群比較)

3.2 Kruskal-Wallis 検定

統計量
H 統計量 2.287
p 値 0.319
有意水準 α 0.05
判定 有意差なし

結論: 現在のデータでは、ドーピング元素(Al / Ga / In)間でバンドギャップに統計的有意差は認められない(p = 0.319 > 0.05)。

3.3 ペアワイズ比較(Mann-Whitney U 検定 + Bonferroni 補正)

ペア U 統計量 p 値 補正閾値 (α/3) 有意 効果量 (r) 効果の大きさ
Al vs Ga 4.5 0.453 0.017 0.400
Al vs In 8.0 0.381 0.017 −0.600
Ga vs In 5.0 0.400 0.017 −0.667

所見: ペアワイズでも有意差なし。ただし Al vs In(r = −0.60)および Ga vs In(r = −0.67)の効果量は大きく、In ドーピング時の BG 低下傾向が示唆される。サンプル数を増やすことで有意差が検出される可能性がある。


4. 濃度–抵抗率の相関分析

4.1 全体相関

手法 統計量 p 値 判定
Pearson (ρ vs conc) r = −0.640 0.046 有意 (α=0.05)
Pearson (log₁₀ρ vs conc) r = −0.615 0.059 境界的
Spearman (ρ vs conc) ρₛ = −0.465 0.176 非有意

解釈: Pearson 相関で有意な負の線形相関が検出された(r = −0.640, p = 0.046)。ドーピング濃度の増加に伴い抵抗率が低下する傾向を示す。Spearman 相関が非有意(p = 0.176)である点は、元素ごとの傾向差や EXP-008 の偏析効果が単調関係を乱しているためと考えられる。

4.2 線形回帰モデル

ρ=8.77×104C+9.02×103\rho = -8.77 \times 10^{-4} \cdot C + 9.02 \times 10^{-3}
パラメーター
傾き aa −8.77×10⁻⁴ Ω·cm/(at%)
切片 bb 9.02×10⁻³ Ω·cm
決定係数 R2R^2 0.410
p 値 0.046
SE (傾き) 3.72×10⁻⁴

解釈: 濃度 1at% 増加あたり抵抗率が約 8.8×10⁻⁴ Ω·cm 減少。R² = 0.41 は中程度の説明力であり、残差の 59% は温度・元素種・雰囲気など他の因子に起因する。

4.3 元素別相関

元素 n Spearman ρₛ p 値 備考
Al 5 −0.975 0.005 非常に強い負の単調関係
Ga 3 −0.866 0.333 サンプル不足で非有意
In 2 算出不可 (n < 3)

所見: Al に限定すると、ρₛ = −0.975 (p = 0.005) と極めて強い濃度–抵抗率の負の相関が確認される。Al ドーピングでは濃度制御による抵抗率チューニングが最も予測可能。

4.4 温度–抵抗率の相関

手法 統計量 p 値
Spearman ρₛ = −0.537 0.109

温度上昇に伴う抵抗率低下の傾向があるが、現データでは統計的有意に至らない。


5. 異常値検出

5.1 IQR 法(単変量)

変数 外れ値条件 検出 許容範囲
濃度 (at%) なし [−0.81, 6.69]
温度 (°C) EXP-010 (400°C) [431, 781]
BG (eV) なし [3.27, 3.63]
抵抗率 (Ω·cm) EXP-010 (1.00×10⁻²) [3.3×10⁻³, 9.3×10⁻³]
透過率 (%) なし [73.7, 91.7]

EXP-010 は温度と抵抗率の 2 変数で IQR 外れ値に該当。低温 (400°C) × 低濃度 (1at%) の条件が全体から乖離。

5.2 Mahalanobis 距離(多変量)

条件 Mahalanobis 距離 判定
EXP-001 1.624 正常
EXP-002 1.412 正常
EXP-003 1.973 正常
EXP-004 2.292 正常
EXP-005 2.306 正常
EXP-006 1.972 正常
EXP-007 2.347 正常
EXP-008 2.826 正常 (要注意)
EXP-009 1.241 正常
EXP-010 2.643 正常 (要注意)
  • χ2\chi^2 閾値 (95%, df=5): 3.327
  • 統計的外れ値に該当する条件はないが、EXP-008 と EXP-010 が閾値に最も近い。

5.3 EXP-008 (In 偏析) 詳細分析

項目 EXP-008 の値 全体平均 z-score (全体) In 群内 z-score
BG (eV) 3.38 3.448 −1.34 −1.00
抵抗率 (Ω·cm) 7.14×10⁻³ 6.52×10⁻³ +0.38 +1.00
透過率 (%) 75.3 82.8 −1.71 −1.00

偏析メカニズムの解釈:

観測事実 推定メカニズム
透過率 75.3% (全データ中最低) ドーパント偏析による散乱中心の形成 → 光散乱損失増大
BG 3.38 eV (全データ中最低) 偏析領域に局所的な不純物準位が形成 → 実効的な BG 縮小
抵抗率 7.14×10⁻³ (In群平均より高い) 偏析によるドーパント不活性化 + キャリア散乱増大

結論: EXP-008 は統計的外れ値には該当しないが、物性値パターン(BG最低・透過率最低・抵抗率改善なし)は In 偏析と整合的である。CON001 制約(In ≥ 5at% 除外)の妥当性を裏付ける実験的エビデンスとなった。 4.5at% でも偏析兆候が出ていることから、In の上限を 4.0at% に引き下げることも検討に値する。


6. ヒートマップ・可視化

解析結果の可視化は以下の 6 パネル図に統合:

ファイル: figures/experiment_analysis.png

パネル 内容
(a) バンドギャップ箱ひげ図(元素別)
(b) 濃度 vs 抵抗率 散布図 + 線形回帰
(c) Spearman 相関行列ヒートマップ
(d) 濃度 × 温度 → 抵抗率 ヒートマップ(補間等高線)
(e) Mahalanobis 距離による異常値検出
(f) 抵抗率 vs 透過率 トレードオフ図

ヒートマップの読み取り(パネル d)

濃度 × 温度空間における抵抗率の等高線補間から、以下の傾向が読み取れる:

  • 低抵抗率領域: 高濃度 (>3at%) × 中温 (600–650°C) の領域
  • 高抵抗率領域: 低濃度 (<2at%) × 低温 (<500°C) の領域
  • 最適条件候補: 濃度 3–4at%, 温度 600–700°C 付近

7. 総合考察と推奨事項

7.1 主要知見

# 知見 エビデンス
1 ドーピング濃度は抵抗率に対して有意な負の線形相関を持つ Pearson r = −0.640, p = 0.046
2 Al ドーピングは最も制御性が高い — 濃度–抵抗率の相関が極めて強い Al: Spearman ρₛ = −0.975, p = 0.005
3 元素間のバンドギャップ差は現時点で有意でない Kruskal-Wallis p = 0.319
4 In 4.5at% で偏析兆候が確認され、透過率 ・BG が著しく劣化 EXP-008: T=75.3%, BG=3.38 eV
5 抵抗率と透過率にはトレードオフ関係が存在 ヒートマップ・散布図から視覚的に確認

7.2 最適条件候補

カテゴリ 条件 抵抗率 (Ω·cm) 透過率 (%) 備考
抵抗率最小 EXP-009: Al 3.5at%, 650°C, N₂ 4.76×10⁻³ 81.0 透過率はやや低い
透過率最大 EXP-010: Al 1.0at%, 400°C, N₂ 1.00×10⁻² 90.1 抵抗率は最大
バランス型 EXP-001: Al 2.0at%, 500°C, N₂ 6.67×10⁻³ 85.2 両目的で上位

7.3 推奨事項

  1. Al ドーピングの詳細探索を優先

    • 濃度 2.0–4.0at% × 温度 500–700°C の領域でベイズ最適化を実施
    • 既にベイズ最適化(EI)で Al 1.0at%/800°C が次候補として提案済み
  2. In ドーピングの上限見直し

    • 現行制約 CON001(In ≥ 5at% 除外)に加え、4.0at% 以上にも注意喚起を付与
    • In を使用する場合は 2.0–3.5at% の範囲に限定
  3. Ar/O₂ 雰囲気の追加実験

    • N₂ 以外の雰囲気データが各 1 条件と少ない
    • 同一濃度・温度で雰囲気効果を分離する対照実験を設計
  4. サンプル数の増強

    • Ga (n=3), In (n=2) は統計的検出力が不十分
    • 元素間差の効果量は大きく(r > 0.5)、各群 n ≥ 8 で有意差を検出できる見込み

8. 付録

A. ファイル一覧

ファイル 内容
data/experiment-results.csv 実験データ(入力)
results/experiment_analysis.json 解析結果(構造化 JSON)
figures/experiment_analysis.png 6 パネル可視化
analyze_experiments.py 解析スクリプト

B. 使用した統計手法

手法 用途 ライブラリ
Kruskal-Wallis 検定 3 群以上のノンパラメトリック比較 scipy.stats.kruskal
Mann-Whitney U 検定 2 群比較 (ペアワイズ) scipy.stats.mannwhitneyu
Bonferroni 補正 多重比較の α 調整 α/k (k=3)
Rank-Biserial r ノンパラメトリック効果量 1 − 2U/(n₁n₂)
Pearson 相関 線形相関 scipy.stats.pearsonr
Spearman 相関 単調相関 scipy.stats.spearmanr
線形回帰 濃度→抵抗率モデル scipy.stats.linregress
IQR 法 単変量外れ値検出 Q1 − 1.5·IQR ~ Q3 + 1.5·IQR
Mahalanobis 距離 多変量外れ値検出 scipy.spatial.distance

C. Spearman 相関行列

濃度 温度 BG 抵抗率 透過率
濃度 1.00 0.66 0.69 −0.46 −0.75
温度 0.66 1.00 0.64 −0.54 −0.54
BG 0.69 0.64 1.00 −0.61 −0.80
抵抗率 −0.46 −0.54 −0.61 1.00 0.30
透過率 −0.75 −0.54 −0.80 0.30 1.00

本レポートは analyze_experiments.py の実行結果に基づき自動生成されました。