Verantwoording onderzoek ASML-export naar China
Nieuwsuur deed onderzoek naar de export van ASML-producten naar bedrijven en instellingen in China. In dit artikel lees je meer over hoe we ons onderzoek hebben uitgevoerd. Onderaan dit artikel staan de volledige reacties van ASML en het ministerie van Buitenlandse Zaken. De vijf klanten van ASML die voorkomen in dit onderzoek reageerden niet op onze vragen.
Dit onderzoek startte nadat we vertrouwelijke informatie ontvingen over een deel van ASML's klanten in China. Het gaat om informatie over klanten uit het jaar 2024. Van de informatie die we ontvingen, kunnen we de onderstaande gegevens openbaar maken:
Links in de tabel staan de namen van vijf klanten van ASML. De naam van de tweede klant blijkt een verouderde naam te zijn: het heet nu het '24e Onderzoeksinstituut van CETC' (later meer over dit instituut).
In het midden staan goederencodes die horen bij de producten die rechts staan. De bovenste vier producten zijn onderdelen voor chipmachines van ASML, het laatste product is een zogeheten DUV-chipmachine.
Gesprekken
We spraken voor dit onderzoek met talloze personen in binnen- en buitenland. Het gaat om chipmachine-experts, medewerkers van diverse bedrijven, experts over geopolitiek en China, juristen en diverse ambtenaren. Het onderwerp (chipmachines van ASML voor Chinese klanten) wordt als erg gevoelig gezien. Om die reden wilden veel personen alleen op achtergrondbasis informatie met ons delen.
We hebben onderzoek gedaan naar de vijf bovenstaande Chinese bedrijven en instituten door gebruik te maken van openbare bronnen zoals nieuwsberichten, bedrijfswebsites, brochures en overheidswebsites. China-correspondenten voor de NOS en Nieuwsuur Laura van Megen en Gabi Verberg en Amerika-correspondent Sjoerd den Daas assisteerden ons bij dit onderzoek.
Wirescreen en Datenna
We maakten ook gebruik van informatie uit niet-openbare bronnen zoals bedrijfsgegevens van Sayari en bedrijfsprofielen van Wirescreen en Datennna. Deze laatste twee bedrijven zijn wereldwijd de belangrijkste experts in Chinese bedrijven. Overheden raadplegen ze bij het beoordelen van exportvergunningen.
Het Amerikaanse bedrijf Wirescreen is een platform voor bedrijven en overheden en biedt inzicht in Chinese bedrijven, bijvoorbeeld over de eigendomsstructuren. Het is opgericht door David Barboza, voormalig China-correspondent van The New York Times. Veel grote internationale media, zoals de Financial Times en The Wall Street Journal, gebruiken de informatie van Wirescreen.
Het Nederlandse bedrijf Datenna is gevestigd in Eindhoven en biedt ook inzicht in Chinese entiteiten, bijvoorbeeld over de eigendomsstructuren. Het is opgericht door een voormalig ambtenaar van het Nederlandse ministerie van Buitenlandse Zaken. Datenna wordt geciteerd in verschillende nationale en internationale media.
Met behulp van de voorgaande bedrijven konden we de Chinese klanten in kaart brengen.
Een samenvatting:
De vijf klanten
GTA Semiconductor
De eerste klant van ASML is GTA Semiconductor. Een chipfabrikant uit Shanghai. Uit de data van Wirescreen blijkt dat de grootste aandeelhouder van het bedrijf een ander chipmaker is; Huada Semiconductor. Dat bedrijf maakt deel uit van de China Electronics Corporation (CEC).
Dit staatsbedrijf is een belangrijke fabrikant van elektronica voor onder andere telecom en cyberveiligheid. Volgens de Chinese overheid zelf is CEC een van de grote militair industriële concerns. CEC staat sinds 2020 en 2021 op diverse Amerikaanse sanctielijsten, omdat het concern volgens de Verenigde Staten banden heeft met de Chinese krijgsmacht.
We zien in de data van Wirescreen dat de voorzitter van de Raad van Bestuur van GTA een man is met de naam "Sun Jie". Hij is ook bestuurder van Huada Semiconductor en CEO van CEC; de China Electronics Corporation. Wirescreen duidt Sun Jie aan als iemand die gelieerd is aan de Chinese krijgsmacht. Hier speelt een eerdere positie van Sun Jie een rol: hij was eerder directeur van het 38e Onderzoeksinstituut van CETC. Dat instituut is betrokken bij de ontwikkeling van militaire radarsystemen, bijvoorbeeld voor de detectie van Westerse JSF/F-35 straaljagers.
24e Onderzoeksinstituut CETC
De tweede klant van ASML is het 24e Onderzoeksinstituut van CETC. Het instituut is onderdeel van de China Electronics Technology Group Corporation. Dit staatsbedrijf, kortweg: CETC, is een van China's belangrijkste defensiebedrijven. CETC heeft tientallen onderzoeksinstituten en daarvan is nummer 24 er één. Volgens een eigen brochure bevindt zich in het instituut het enige nationale laboratorium voor militaire computerchips in China.
Si En (Qingdao)
De derde klant is Si En (Qingdao). Dit is een chipfabrikant in handen van de Chinese overheid. Volgens Wirescreen is het bedrijf in 2023 in verband gebracht met het opzetten van een chipproductielijn voor Huawei. De Amerikaanse overheid heeft Si En eind vorig jaar op de Entity List gezet. Volgens de VS zouden de chips van Huawei, gemaakt door Si En, bijdragen aan de militaire capaciteiten van China.
Semiconductor Manufacturing Beijing Corporation
De vierde klant is Semiconductor Manufacturing Beijing Corporation (SMBC). Dit is een chipfabrikant die valt onder SMIC, de belangrijkste chipproducent van China. Dit concern probeert te wedijveren met TSMC voor het maken van geavanceerde chips. SMIC valt onder diverse Amerikaanse sancties, zo staat het op de Entity List vanwege de militaire-civiele samenwerking. Ook wordt het door de Amerikanen in verband gebracht met productie voor de Chinese krijgsmacht.
Shenzhen International Quantum Academy
Tot slot de Shenzhen International Quantum Academy Deze klant duikt op als we toegang krijgen tot de database van Wirescreen die naast bedrijfsgegevens ook import- en export gegevens van Chinese bedrijven bevat. We zien in die data dat het onderzoeksinstituut voor quantumtoepassingen op 5 februari 2024 een "Deep UV lithografie machine" van ASML heeft ontvangen. Om welk type DUV-machine het hier gaat, is niet bekend.
Het instituut, dat valt onder de Shenzhen Institute for Quantum Science and Engineering, schrijft op haar website onder andere onderzoek te doen naar naar "quantum sensing". Dit is een techniek om met extreem hoge nauwkeurigheid metingen te verrichten. De Nederlandse inlichtingendienst MIVD waarschuwt in haar jaarverslag nadrukkelijk voor de Chinese interesse in quantum sensing.
Amerikaanse sancties
Volgens de informatie van Wirescreen zijn alle vijf Chinese instituten en bedrijven gelieerd aan de Chinese defensie-industrie. Wirescreen beoordeelt een bedrijf ook als "militair" als het bedrijf op een Amerikaanse sanctielijst staat.
Twee klanten van ASML, het 24e Onderzoeksinstituut van CETC en Si En, staan op Amerikaanse sanctielijsten. Van vier klanten staan de moederbedrijven op sanctielijsten, het gaat om de Shenzhen Institute for Quantum Science and Engineering, SMIC, de China Electronics Corporation (CEC) de China Electronics Technology Group Corporation (CETC).
In het systeem van Datenna staat alleen het 24e Onderzoeksinstituut gemarkeerd als "militair". Die classificatie heeft het bedrijf te danken aan het winnen van meerdere aanbestedingen voor samenwerkingen in de defensiesector. Het quantuminstituut en het bedrijf GTA Semiconductor staat bij Datenna gemarkeerd omdat ze "kritische technologie" ontwikkelen. Si En en SMBC hebben geen markering in de systemen van Datenna.
Zorgen over China
De leveringen van ASML, 's werelds belangrijkste chipmachinefabrikant, zijn opvallend. Veel westerse overheden willen niet dat de Chinese krijgsmacht profiteert van westerse hoogwaardige technologie. Vooral op defensiegebied zijn grote zorgen over China.
Het ministerie van Buitenlandse Zaken zegt in reactie op vragen: "Leveringen aan de Chinese defensie-industrie zijn om meerdere redenen onwenselijk vanuit het Nederlandse perspectief. De AIVD en MIVD waarschuwen in hun jaarverslagen al langer dat China de grootste bedreiging vormt voor de Nederlandse economische en kennisveiligheid. Ook werkt China militair samen met Rusland, en leveren Chinese bedrijven zowel dual-use als militaire goederen voor de Russische oorlogsindustrie."
Exportregels
De goederencode van de producten die ASML in 2024 verstuurde naar China lijkt erop te wijzen dat het gaat om zogenoemde "dual-use" producten. Dat zijn producten die zowel voor civiel als voor militair gebruik geschikt zijn.
Voor de export van dual-use producten naar landen buiten Europa is een exportvergunning nodig. Zo kunnen overheden controleren naar wie de producten gaan, meestal om te voorkomen dat ze militair gebruikt gaan worden. Die controle is echter alleen van toepassingen als de producten vermeld staan op Annex I bij de Europese Dual-Use Verordening. Er is dan toestemming nodig van het ministerie van Buitenlandse Zaken voordat het product de grens over gaat.
Bij gevoelige producten, zoals chipmachines, wordt die goedkeuring niet verleend "wanneer er een risico bestaat dat eindgebruik van de goederen indruist tegen de EU en Nederlandse (veiligheids)belangen", zegt het ministerie.
Nederland heeft bovenop die Europese regels nog aanscherpingen ingevoerd: voor de export van chipmachines met bepaalde specificaties moeten óók eerst toestemming komen. In de praktijk gaat het hier over de meest geavanceerde ASML-machines; de EUV en de immersie-DUV. Het ministerie van Buitenlandse Zaken laat in een reactie aan Nieuwsuur weten dat die vergunningsplicht óók geldt voor vervangende onderdelen van de machines die onder de aanscherpingen vallen.
Terug naar de chipmachine-onderdelen in ons verhaal. Het blijkt hier na onderzoek te gaan om producten die niet onder de Nederlandse of Europese exportrestricties vallen. Dit betekent dat er geen exportvergunning nodig is. Volgens het ministerie van Buitenlandse Zaken komt dat omdat niet alle onderdelen in een chipmachine een cruciale of strategische rol hebben en makkelijk verkrijgbaar zijn. Op die onderdelen zit dus geen controle en "staat het exporteurs vrij om ongecontroleerde goederen te exporteren naar China", zegt het ministerie.
Vier experts, twee van de TU Delft en twee van de TU Eindhoven, zeggen tegen Nieuwsuur dat die lezing niet klopt. De onderdelen die naar de klanten zijn gegaan, zijn wel degelijk essentieel voor het laten werken van een machine.
Er bestaat overigens een mogelijkheid voor Europese landen om zelfs op goederen die niet op de dual-use lijst staan, toch toezicht te houden. In artikel vier van de dual-use-verordening staat namelijk dat exporteurs toch toestemming moeten vragen voor de export van producten als ze weten dat die gebruikt gaan worden voor ontwikkeling van massavernietingswapens of voor de raketten om die wapens naar hun doel te brengen.
Ook moeten de exporteurs proactief melden als ze producten voor militair eindgebruik versturen, maar alleen als er een wapenembargo op het land rust. In het geval van China, verduidelijkt het ministerie: "Het Europese wapenembargo op China is (slechts) een politieke verklaring, en voldoet dus niet aan de definitie van een wapenembargo voor zover het de uitvoering van de Dual Use Verordening aangaat."
DUV-machine
Voor de DUV-machine voor het quantuminstituut zijn de regels mogelijk wat anders dan voor de losse onderdelen die naar de andere klanten zijn verstuurd. Nieuwsuur heeft niet kunnen vaststellen welk type DUV-machine het quantuminsituut begin 2024 heeft ontvangen. Ook is onduidelijk of ASML hier vooraf toestemming van het ministerie van Buitenlandse Zaken voor nodig heeft gehad. Zowel ASML als het ministerie willen over individuele bedrijven en leveringen geen uitspraken doen.
Op 5 februari 2024, dezelfde dag dat het quantuminstituut de DUV-machine ontving, beantwoordde de voormalig minister van Handel Geoffrey van Leeuwen toevallig Kamervragen over de exportregels op chipmachines. Van Leeuwen schrijft dat de aanscherping van de exportregels niet betekent dat geavanceerde chipmachines niet meer het land uit mogen en zegt daarvoor tientallen aanvragen per jaar te krijgen.
Van Leeuwen maakt zelfs bekend dat sommige van die aanvragen vanuit China worden toegekend: "Inmiddels zijn enkele vergunningen voor de export van geavanceerde halfgeleiderapparatuur naar China verleend." Of de vergunning voor het quantuminstituut hier ook onder valt, is vooralsnog niet duidelijk.
