MEMSジャイロセンサーやマイクロミラーは典型的には10 kHzのオーダーで振動する。1日の使用で10の9乗サイクル、3年の使用で10の12乗サイクル。1 GPa以上の応力がかかることもある（一般的な構造鋼の保証強度は400 MPa）。だから、MEMSの構造体は金属では作れず、乾燥環境で疲労しないシリコンを使う。
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Kumagai, M
@kumarobo
金属疲労を習ったのは材料学だったかなぁ。
あの当時は、10^7回に耐えればその先はOKと習った記憶があって(応力と回数の関係がなにかグラフで直線的に下がる、が平らになる)、そのしばらく後で「やっぱりまた下ります」という知見を見かけて、おぉと思った覚えがある。 x.com/mems6934/statu…