自動リーク弁

自動リーク弁(油逆流防止弁)　

自動リーク弁(油逆流防止弁)

真空ポンプが停止すると排気側は大気圧となります。ところが吸気側は減圧状態のままですので、この差圧により油回転真空ポンプ内部の油が排気口から押されて、吸気口、吸気配管、最終的には真空チャンバーまで逆流してしまいます。この逆流を防ぐためには、ポンプ停止と同時に吸気側をリークさせ、排気側と同圧( 大気圧)とする必要があります。自動リーク弁はポンプの吸気口側に取付けられ、ポンプ( モーター) 停止と同時に開き、吸気側を自動的に大気圧に戻しますので、手動操作の手間を省き、うっかりミスを未然に防止、不意の停電時にも安心です。ポンプご注文時に｢自動リーク弁付｣とご指定ください。

型式 仕様 対応機種
LVS-100 AC100V SW/STシリーズ
LVS-200 AC200V SW/ST/DWシリーズ
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自動リーク弁取付アダプター

自動リーク弁取付アダプター

後から自動リーク弁を真空ポンプに取付ける場合に、ポンプの標準吸気口に差し込んで使えるアダプターでホース口付きです。吸気口径 φ16用、23用、30用の3種類を用意しており、付属ホース口などは以下の寸法となっております。

型式 LVAD-16 LVAD-23 LVAD-30
ポンプ吸気口径 φ16 φ23 φ30
L1 (90) (130) (130)
L2 54 60 62
D 32 38 42
d 16 21 27
A(Rp) 3/8 1/2 3/4
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油面計(ガラス製)

油面計(ガラス製)

有機溶剤等、標準材質のアクリルを腐食させるガスを、真空ポンプ内に吸引する場合に使われます。

吸気口変換アダプタ

油回転真空ポンプの吸気口( ホース口形状)を、規格より細い口径とする必要がある場合に使われるアダプタです。相手側の口径が細く、ポンプ側をそれに合せる必要がある場合、細い真空ホースしかない場合などにご利用ください。

吸気口変換アダプタ 吸気口変換アダプタ
型　式 A B C D E L
VC-1609 8 10 15 36 28 90
VC-1612 12 14 15 36 30 92
VC-2309 8 10 18 42 28 90
VC-2312 12 14 18 42 30 92
VC-2316 14 16 18 42 33 95
VC-3009 8 10 25 50 28 90
VC-3012 12 14 25 50 30 92
VC-3016 14 16 25 50 33 95
VC-3022 20 22 25 50 33 95
変換アダプタ型式
（変換口径mm）		 VC-1609（φ9） VC-2309（φ9） VC-3009（φ9）
VC-1612（φ12） VC-2312（φ12） VC-3012（φ12）
　 VC-2316（φ16） VC-3016（φ16）
　 　 VC-3022（φ22）
適合真空ポンプ DW-60 DW-120,185Ⅱ DW-360
USW-20,50Ｎ　TSW-20,50Ｎ USW-100Ｎ,150Ｎ USW-300Ｎ,500Ｎ,650Ｎ
BSW-20,50Ｎ　UST-20,50 TSW-100Ｎ,150Ｎ TSW-300Ｎ,500Ｎ,650N
TST-20,50　BST-20,50 BSW-100Ｎ,150Ｎ UST-300,500N
PSW-20,50Ｎ　PST-20,50 UST-100,150Ｎ TST-300,500N
　 TST-100,150Ｎ  
　 BST-100,150Ｎ 　
真空ポンプ吸気口径 φ16 φ23 φ30
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真空ゴムホース

真空ゴムホース

真空配管に使用してもつぶれない肉厚の真空用ホースです。固定配管に比べ、手軽に真空ポンプと容器をつなぐことができます。長さは１mです。(2m以上は特注となります）

ホース寸法(mm) 適合ホース口(mm)
内径φ6×外径φ15 φ7～9
内径φ9×外径φ24 φ10～12
内径φ12×外径φ30 φ13.5～16
内径φ18×外径φ42 φ21～23
内径φ25×外径φ50 φ27～34

真空ポンプ油“ ニュークリアバック SA-160M, SA-100M”

真空ポンプ油“ ニュークリアバック SA-160M”

高度に精製された鉱物油を精密分留した、高品質な油回転真空ポンプ専用オイルです。低蒸気圧で抗乳化性・水分離性に優れています。

型式 容量 粘度グレード 油種
SA-160M 1L,2L,18L ISO VG 68 鉱物油
SA-100M ISO VG 46

 

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エアフィルター(吸気用)

エアフィルター(吸気用)

真空ポンプ内に粉塵などが入るのを防ぐためのフィルターです。

型式 流量 接続口径
Rc(PT)
F-50 50
 3／8”
F-150 150 1／2”
F-500 500 3／4”

真空インレットフィルター PSAF

真空インレットフィルター

低真空 (100Pa 以上) 用エアフィルターです。油回転真空ポンプの吸気口に取付け、真空排気ラインで発生する粒子、ダスト、コンタミを捕集しポンプを保護します。ポリエステル製5μmのエレメントにより粉塵などを99%以上キャッチ、L型ですので真空配管を外さずにエレメント交換が可能、工具も不要です。

型式 接続口径 寸法(mm) エレメント 適合排気速度
φA B C D
PSAF-150-25 NW25 95 66 103 58 PETE-150 ~150L/min
PSAF-500-25 NW25 146 86 117 71 PETE-500 ~650L/min
PSAF-1500-40 NW40 146 96 126 80 PETE-1500 ~1500L/min
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フォアライントラップ PSFL-25

フォアライントラップ　VSMIフォアライントラップ　VSMI

真空チャンバー内への油の逆拡散を防止するためのトラップです。モレキュラーシーブを使用し、プロセスから発生するベーパーおよびその他ガスを吸着します。内蔵ヒーターによりエレメントの加熱再生が可能です。(AC100V)

型式 エレメント 寸法(mm) 接続口
A B C D E
PSFL-25 モレキュラシーブ13X 102 133 206 38 168 NW25

液体窒素コールドトラップ<CT-LN2>シリーズ

液体窒素コールドトラップ

真空排気ラインで発生するポンプからの油の逆拡散を防止し、超高真空ラインにおいては、水分等の吸着により到達圧力の向上に効果を発揮します。油拡散ポンプ排気装置、真空蒸着装置などに数多く採用されています。

型式 接続 寸法(mm) LN2容量
装置側 ポンプ側
CT-N25N40L-LN2 NW25 NW40 φ160×H208 500cc
CT-N40N40L-LN2 NW40 NW40
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ブルドン管真空計

ブルドン管真空計

目安として真空度を確認したい場合に使われる簡易型真空計です。加圧用の圧力計の規準を応用していますので、大気圧を０と設定しており、減圧側はマイナス表示となっています。

型式 仕様
AU-G3/8-75 縦型 BS製 φ75 G3/8
AUAD-G3/8-R1/4 取付金具 G3/8メネジ × R1/4