- スピードファム株式会社
- 本 店
- 〒252-1104 神奈川県 綾瀬市 大上 4-2-37
- 設 立
- 1971年05月14日
- 従業員
- 125名 (グループ 486名)
- 代表者
- 取締役社長 小原 康嗣
- 当社業務に係る汚染の防止と資源の有効利用
- 関連法令などの遵守
- 継続的な改善活動
環境方針
Environment for the Society = Value for the Company, the Employees and the Customers
（重点項目）
- 1971年05月
- 米国 SpeedFam Corp.と小原金属工業株式会社との合弁会社としてスピードファム株式会社設立
- 1972年01月
- 片面研磨装置の製造・販売を開始
- 1978年06月
- 両面研磨装置の製造・販売を開始
- 1984年01月
- 洗浄装置の製造・販売を行なうスピードファムクリーンシステム株式会社を設立
- 1984年05月
- 韓国に販売・サービス拠点を設立
- 1984年10月
- インドに製造・販売拠点を設立
- 1985年07月
- 仙台に販売拠点を設立
- 1986年04月
- 大阪に販売拠点を設立
- 1987年02月
- 台湾に製造・販売拠点を設立
- 1988年06月
- シリコンウェーハ端面研磨装置 (エッジポリッシャー) の製造・販売を開始
- 1989年05月
- シンガポールに販売・サービス拠点を設立
- 2000年07月
- ドライ平坦化装置(DCP)の製造・販売を開始
- 2000年09月
- 合弁を解消し、OBARA株式会社の100%出資子会社となる
- 2001年09月
- 中国に製造・販売拠点を設立
- 2004年07月
- 米国に販売・サービス拠点を設立
- 2004年07月
- 欧州に販売・サービス拠点を設立
- 2009年10月
- OBARA株式会社より事業譲受し、レーザ装置の製造・販売を開始
- 2011年09月
- ウェーハ面取装置の製造・販売をを開始
- 2014年04月
- 精密平面研削装置の製造・販売を行う MELCHIORRE S.R.L. を100％出資子会社化
(2021年12月現在)
