シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究 シリコン シュウセキ カイロ ソシ ビサイカ ノタメノ アサイ セツゴウ ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
この論文にアクセスする
この論文をさがす
書誌事項
- タイトル
-
シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究
- タイトル別名
-
シリコン シュウセキ カイロ ソシ ビサイカ ノタメノ アサイ セツゴウ ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
- 著者名
-
獅子口, 清一
- 著者別名
-
シシグチ, セイイチ
- 学位授与大学
-
奈良先端科学技術大学院大学
- 取得学位
-
博士 (工学)
- 学位授与番号
-
甲第346号
- 学位授与年月日
-
2003-09-30
注記・抄録
博士論文
identifier:https://library.naist.jp/mylimedio/dllimedio/show.cgi?bookid=100042581&oldid=78880
identifier:https://library.naist.jp/mylimedio/dllimedio/show.cgi?bookid=100042582&oldid=94491