シリコンインターポーザ基板を用いたMEMSセンサシステムの開発 [in Japanese] Development of the MEMS sensor system using Silicon interposer Substrate [in Japanese]
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- 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会
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電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2007(1), 39-42, 2007-07-03