スピンエレクトロニクスの基礎と最前線
シーエムシー出版/2004.7
当館請求記号:ND351-H14
分類:技術動向
目次
目次
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【基礎編】
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第1章巨大磁気抵抗効果
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1はじめに3
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2巨大磁気抵抗 (GMR) 効果とは4
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3GMR効果のメカニズム5
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4スピンバルブGMR7
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5スピンバルブGMRのエンハンス8
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6スピンバルブCPP-GMRのエンハンス9
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第2章トンネル磁気抵抗効果
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1原理12
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2TMR比の障壁高さ依存性14
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3TMR, AMR, PHEの比較15
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4交換バイアス層を有するスピンバルブタイプ接合16
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5単結晶高品質トンネル接合18
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6ハーフメタルを用いたトンネル接合22
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7磁性半導体のトンネル磁気抵抗効果24
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8グラニュラー構造物質の巨大磁気抵抗効果24
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第3章スピン注入・蓄積効果
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1はじめに28
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2スピン注入・検出素子28
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3スピン伝導の基礎29
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4スピン蓄積シグナル31
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5スピンホール効果33
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6おわりに35
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第4章磁性ナノ粒子系におけるスピン依存単一電子トンネル現象
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1はじめに37
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2磁性ナノ粒子集合体39
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3スピン依存SETに基づくTMRの特徴的な現象42
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3.1TMRの増大42
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3.2TMRの振動46
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4今後の課題-結びにかえて48
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第5章スピンダイナミクス
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1はじめに51
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2ダイナミクスの基礎51
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2.1スピンの運動51
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2.2熱揺らぎ53
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3スピンの才差運動とスピンポンピング54
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3.1スピンポンピング54
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3.2FMRとGilbertダンピング55
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3.3ポンププローブ法とGilbertダンピング57
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4スピンの反転58
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5新しいスピン反転方法とスピンダイナミクス60
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5.1Precessional switching60
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5.2Toggling61
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5.3スピン注入磁化反転61
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6おわりに62
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第6章磁性半導体の伝導現象
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1はじめに64
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2(Ga, Mn) Asの結晶成長64
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3磁気的性質65
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4正孔誘起強磁性65
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5伝導現象66
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5.1抵抗の温度依存性及び磁場依存性66
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5.2ホール効果69
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5.3異方性磁気抵抗効果71
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5.4磁壁と伝導73
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6おわりに75
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第7章磁性半導体の光磁化と光操作
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1はじめに79
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2III-V族磁性混晶半導体79
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3キャリア誘起強磁性81
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4強磁性の光制御83
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4.1(In, Mn) As/GaSbヘテロ構造における光誘起効果83
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4.2(Ga, Mn) Asにおける光誘起磁化回転86
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5展望:半導体スピントロニクス89
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第8章磁性半導体の電子状態, 磁性およびスピン伝導
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1はじめに93
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2強磁性金属/半導体接合でのスピン注入93
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3強磁性半導体の電子状態95
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4強磁性発現機構96
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4.1RKKY模型97
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4.2磁気ポーラロン模型97
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4.3第一原理計算と二重交換模型98
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4.4Zener模型99
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4.5二重共鳴機構99
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52次元電子ガスにおける拡散領域での電気伝導度とスピン蓄積101
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6おわりに102
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第9章配列ドット格子と磁気物性
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1はじめに105
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2ナノ磁性体円盤の磁気相図105
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2.1軟磁性Fe20Ni80円盤の磁気構造107
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2.2Co/Pt人工格子ドット109
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3ナノ磁気円盤の磁気特性と応用112
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3.1面内単磁区構造(S//構造)112
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3.2孤立した磁気渦構造とその運動112
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3.3静磁的に結合した2次元磁気渦格子114
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第10章強磁性細線におけるスピン偏極電流による磁壁の運動
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1はじめに117
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2スピントランスファー効果による磁壁の電流駆動とは118
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3強磁性細線における磁壁の電流駆動119
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4スピントロニクスデバイスへの応用124
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【材料・デバイス編】
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第11章高スピン偏極材料の理論設計
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1はじめに129
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2ハーフメタル:理論と実験129
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3新ハーフメタルの理論設計130
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4スピン軌道相互作用の効果133
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5原子配列不規則性の効果133
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6高スピン偏極ヘテロ接合の理論設計134
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7今後の展望134
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第12章ハーフメタル薄膜とTMR
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1はじめに138
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2酸化物系ハーフメタル139
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2.1LSMO139
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2.2Sr2FeMoO6 (SFMO)140
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2.3Fe3O4140
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2.4CrO2141
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3ホイスラー合金141
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3.1ハーフホイスラー合金141
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3.2フルホイスラー合金142
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3.2.1Co2MnZ (Z=Ge.Si) フルホイスラー合金の構造と磁性144
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3.2.2Co2 (Cr.Fe) Alホイスラー合金薄膜の構造と磁性144
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3.2.3Co2 (Cr.Fe) Alホイスラー合金薄膜を用いたトンネル接合のTMR147
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4せん亜鉛鉱型150
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5おわりに150
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第13章単結晶トンネル接合のコヒーレントなTMR効果
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1TMR効果の物理機構153
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2単結晶電極を持つトンネル接合とTMR効果の結晶方位依存性155
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3スピン偏極共鳴トンネル効果157
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4トンネル電子の波動関数の対称性の重要性162
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5全単結晶トンネル接合のコヒーレント・トンネルによる巨大なTMR効果163
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6おわりに165
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第14章スピン注入による磁化反転
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1スピン注入磁化反転の発見167
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2スピン注入磁化反転の機構168
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2.1スピントルク168
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2.2スピンダイナミクス170
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3実験研究の現状173
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3.1微細素子の作製173
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3.2電流注入による磁気抵抗効果膜の磁化反転175
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3.3臨界電流を小さくする試み178
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3.4スピントランスファーを用いたその他の試み178
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4MRAMへの応用と課題179
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4.1大容量MRAMの実現179
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4.2MRAMへの適用における問題点181
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5おわりに182
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第15章半導体をベースとしたヘテロ構造-強磁性転移温度と磁性制御-
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1はじめに184
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2MnデルタドープGaAsを含むp型選択ドープヘテロ構造184
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2.1磁性混晶半導体184
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2.2磁性元素のデルタドーピング185
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2.3Mnデルタドープとp型選択ドープヘテロ構造188
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3磁気輸送特性と強磁性秩序189
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3.1強磁性秩序の構造依存性189
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3.2強磁性転移温度と正孔濃度の評価および低温アニール効果191
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3.3高い強磁性転移温度193
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4ゲート電界および光照射による磁性の制御194
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4.1FET構造におけるゲート電圧による磁性の制御194
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4.2光照射による磁性の制御195
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5おわりに197
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第16章室温強磁性半導体-新材料と課題-
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1磁性半導体に期待される機能199
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2磁性半導体の研究の経緯199
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3室温強磁性半導体の理論予測と実験報告の現状201
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4磁性半導体の本質はS,p-d交換相互作用202
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5In1-xMnxAsとGa1-xMnxAs203
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6Zn1-xCrxTe204
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7ZnO : TM206
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8GaN : Mn208
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9Ga1-xCrxAs208
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10おわりに209
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第17章磁気抵抗スイッチ効果
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1はじめに212
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2磁気抵抗スイッチ効果の概要212
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3磁気抵抗スイッチ効果の起源216
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4おわりに220
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【応用編】
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第18章微細加工技術
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1はじめに223
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2微細加工技術の概要223
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3微細加工技術とスピントロニクス研究への応用226
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3.1電子線リソグラフィおよび光リソグラフィ226
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3.2エッチングおよびリフトオフ228
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3.3収束イオンビーム232
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3.4走査プローブ顕微鏡235
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4磁性膜エッチング技術238
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4.1磁性材料エッチングの困難性238
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4.2磁性膜反応性ドライエッチング技術238
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4.2.1ハロゲンガス系プロセス238
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4.2.2非ハロゲンガス系プロセス240
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第19章磁気ヘッドへの応用
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1はじめに245
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2磁気記録概観246
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3磁気ヘッド技術251
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3.1MRヘッド251
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3.2スピンバルブヘッド255
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3.3強磁性トンネル接合261
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4おわりに264
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第20章Development of MRAM
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1Introduction266
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24Mb Memory Cell and Process Integration267
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3MRAM Programming270
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3.1Review of Conventional MRAM270
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3.2New Approach-Toggle MRAM272
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3.3Switching Results277
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4The 4Mbit Chip Architecture278
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4.1Isolated Write and Read Path Bitcell Array278
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4.2512kbit Core Array Description279
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4.34Mbit Chip Description281
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5The Balanced Three Input Sensing Scheme281
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5.1Midpoint Conductance Reference281
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5.2Three Stage Senseamplifier282
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5.3Balanced Three Input Column Multiplexing282
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5.4Preamp Stage Operation283
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5.5Read Margin Sweep Test Mode284
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6The Write Current Driver285
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6.1Unidirectional Write Currents285
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6.2Locally Mirrored Driver Circuit286
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7Timing286
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7.1Read Before Write Sequence Timing286
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7.2Silicon Results288
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8Summary of Features288
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8.1Features288
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9Summary288
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第21章スピンバルブトランジスタ
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1はじめに290
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2スピンバルブトランジスタの作製とその特性291
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3考察293
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4磁気ヘッド応用の可能性295
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5スピンバルブトランジスタの高性能化296
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6おわりに299
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第22章電界によるスピン制御とスピンFET
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1はじめに301
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2電界効果スピントランジスタの動作原理302
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3ゲート電圧によるスピン軌道相互作用とスピン回転制御303
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4磁性体電極の評価と半導体へのスピン注入306
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5今後の展望309
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第23章量子コンピュータとスピンエレクトロニクス
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1量子コンピュータの基礎と性能指標312
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2量子コンピュータ開発最前線316
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3シリコン量子コンピュータ318
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3.1ケーン型シリコン量子コンピュータ319
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3.2全シリコン量子コンピュータ321
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4おわりに322
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MOKUJI分類:技術動向