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高い技術を誇る独自の大電流・高安定・低ノイズ電源によって実現した新しい走査電子顕微鏡
汎用SEMの使い方だけでなく、独自に開発した高性能対物レンズにより、測定試料に合わせた3通りの使い方ができます。
表面構造をより細かく観察できるハイレゾ低加速SEM。
ボトムレンズ使用時、試料に負電圧を印加するリターディング法を用いることで、低加速で高分解能な画像が得られます。これにより物質表面の解像度が向上しました。
より高分解能に観察できる高分解能SEM。
ボトムレンズを採用したことにより、レンズと試料の距離を近づけることができました。
これにより一般的なタングステンSEMよりも高分解能な画像が得られます。
トップレンズとボトムレンズを併用することにより、被写界深度を細かく設定できるようになりました。この機能により、表面が凸凹した試料でも、撮影したい箇所を鮮明にすることが可能です。
弊社独自開発Dual Lens SEMによって、一般的な汎用SEMの領域を超えた撮影を可能にしました。
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