���ݣ�����«�������ӡ��ൻ��
���ݣ��ݣ�����«�������ӡ��ൻ�Ѥθ���������
�ʣ��˽�«�������ӡ��ൻ�Ѥθ���
����«�������ӡ�����Focused Ion Beam�ˤȤϡ����ζ�°������Liquid
Metal Ion Source�ˤ��������줿�������ӡ������ż����������ѡ�������aperture�ˤʤɤ��Ѥ��ƿ��̣��ʲ��˹ʤä��������ӡ����Τ��ȤǤ��롣�������ˤϱ��ζ�°�����νи��ȤȤ��˻Ϥޤä���
������ɽ�̤˶��ų����ä����ȡ��ų��ˤ�������Ū���Ϥ�ɽ��ĥ�ϤȤζ����ˤ��ꡢ�ƥ��顼��������Taylor
cone�ˤȸƤФ����߿���ȯ��������ü��ʬ���ų������붯�٤�Ķ�����ȱ��Τ�ʮ�Ф��븽�ݤϡ��塢�������ꥻ�������ˤ������Τ����Ƥ������������θ塢���˥����������åȤγ�ȯ�����ˤ����Ʊ��ζ�°�ˤ����Ƥ�Ʊ�ͤʸ��ݤ����ꡢ���ξ����ˤ϶�°��������ȯ�����뤳�Ȥ���ǧ���졢�����˱��Ѥ��뤳�Ȥ���ǽ�Ǥ��뤳�Ȥ�Ƚ��������������������Ū�ʱ��ζ�°�����Ȥ������𤵤졢���μ¸�Ū�������¤��������ƾ����������ĵ��٤����������礭���Ȥ���������Ĺ�����餫�ˤ��줿�Τϣ�������ǯ�Ǥ������������ζ�°�������Ѥ�����«�������ӡ�������Ĺ�ϡ��ޤ��˱��ζ�°��������Ĺ�˵����������ΤǤ��롣�¸�Ū�������¤��������ʡ����������ˤ��Ȥϡ����ˤ����������ä˽̾����뤳�Ȥʤ����Ƥ��Ƥ⣱�̣��ʲ��Υӡ����¤�����Ū�ˤ��ưפ��������뤳�Ȥ���̣���Ƥ��롣�ޤ������٤����������礭�����Ȥϡ����������ӡ�������ή̩�٤��礭�����̾��Ѥ��������ץ饺�������������������ӡ�������ή̩�٤��ꣳ�������礭���ˤ��Ȥ���̣���롣���Τ褦�ˡ����٤ʥӡ����¤Ǥ����ʤ��顢���������礭����ή̩�٤����Ĥ��Ȥ�����«�������ӡ������ð�Ū����Ĺ�Ǥ��롣
���ޤ�����«�������ӡ����ϥ������ӡ����λ��İ���Ū����Ĺ�Ǥ������������ɤ������ʤ����ż����ˤ������֡����ͥ륮�����ưפˤ�����̩�����椹�뤳�Ȥ���ǽ�Ǥ��뤳�ȡ������ӥ��ͥ륮���ΰ衢����������Ŭ���������ˤ��ꥨ�å������졢������Ϫ�������͡��ʲù���ǽ�Ϥ碌���ġ����Τ��ᡢ¿�ͤʲù������٤��ΰ��ˤ����ƽ�«�������ӡ����Τߤ��Ѥ��Ƥ����ʤ����Ȥ���ǽ�Ǥ��롣
�ʣ��˽�«�������ӡ��ൻ�Ѥ�����
����«�������ӡ��ൻ�Ѥ����ٲù����ѤȤ���ǧ�Τ��졢���Ѥ��Τ��Τγ�ȯ�ȤȤ��˱��Ѥ����椵�����褦�ˤʤä��Τϡ���������ǯ��Seliger���������������˥��ͥ륮�������������֤Σǣ����ӡ������������������������������̣��ʲ��ι¤����ѥå����å��ˤ����������줿�Ȥ����������������Ǥ��롣
�����θ塢�������˽�«�������ӡ���Ϫ�������ޤ�����³���ޥ����쥹��maskless�˥����������ؤα��Ѥ����ߤ��줿����«�������ӡ���Ϫ���ˤ����Ƥϡ��嵭���������֤Σǣ����ӡ����ΣУͣͣ��ʰ��̤˥쥸���ȤȸƤФ��봶�������Τ������Żҥӡ���Ϫ���ǺǤ�����Ū�˻��Ѥ�����ͭ�����������ˤ��Ф��������ϣ������̣���������������Ū�ʥ쥸���Ȥθ��ߡʣ����������̣��ˤ��б��Ǥ��ʤ������ˡ��������������������֤β�®���ͥ륮�����������ǣ��������̤ξ������������뤤��¿����������ȯ�������Ѥ���ǽ�ˤ������⥤���ȼ���ʬΥ������������«�������ӡ������֤���ȯ���줿���ޤ����ޥ����쥹�����������Ѥˤ⡢�ץ饺���������Ѥ����̾��Υ������������֤�Ʊ���٤Υ��ͥ륮���ʣ����������������֡ˤ�ɬ�פȤ��졢�ޤ���ñ�ΤǤϥ������������Խ�ʪ���ʣ¡����ӣ顢�£����ˤΤ����˹��⥤���λ��Ѥ�ɬ�ܤΤ��ᡢ��«�������ӡ���Ϫ���ѤȤۤ�Ʊ�����֤���ȯ���줿��������������Ū�������������б����뤳�Ȥ������ʤ��ᡢ������Ŭ�Ѥ������ˤϻ��餺������Ū�����Ӥ��Ѥ������Ƥ��롣���ѥå����å��Τ��������֤ϡ��ǣ������ѵ��ǥ��ͥ륮�������������������֤Τ��Τ����Ѥ����롣
����������ǯ����Ⱦ�Фˡ�ͭ����°����ʷ�ϵ����ǥ��ͥ륮���ӡ������ȼͤ�������ʬ�ƶ�°�����줹����ˡ����«�������ӡ�����Ŭ�Ѥ��졢��«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ���Ϥޤꡢ�����ޤǤΥ��å���Ϫ���������������˲ä������줬�����ʵ�ǽ�Ȥ��Ʋä��ä��������ϡ����٤˴ؤ��Ƥ��ŵ�Ū�������ˤĤ��Ƥ��Х륯��°�Ȥϰۤʤ뤬�������뤤���Ű�¬���Τ������Ŷ˷����Ȥ��ä����Ӥ˸¤��м���Ū�ʼ��ʤˤʤ뤿�ᡢ��«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ�ȥ��ѥå����å����Ȥ߹��碌�����ե��ȥޥ������ڥ����֤��뤤�ϣɣý������֤��и����������������졼�����ӡ������Ѥ������ڥ����֤��Ф��ƥӡ����¤����������Τۤ��ϡ�ɬ������ͥ�����Ϥʤ����ᡢ�����饤���Ǻ��Ѥ������ˤϻ����ʤ��ä���
����«�������ӡ��������٥ӡ����¤Υ������ƤȤ���ʬ�ϡ��ѻ����Ѥ������ߤϡ���«�������ӡ����νи����������Ϥޤä���������ɽŪ�ʤ��Τ�������������������Scanning
Ion ��icroscopy�ˤǤ��롣����¾�ˤ⡢��������������ʬ��ˡ��Secondary
Ion Mass Spectroscopy�ˤΥ������Ƥˤ��Ѥ������Ƥ��롣���ѥå����å���ǽ��������������������ǽ���Ȥ߹��碌��ȾƳ���Ѥ����̴ѻ����֤���������ǯ���ν������˽и�����ȾƳ�Υץ������ˤ����ƥץ����������β����ѡ����뤤�ϣɣäθξ����Ϥμ��ʤȤ������夷�������饤�����Ȥ߹��ޤ������֤ˤʤäƤ��롣�ޤ���Ʊ�ͤ����֤�Ʃ�᷿�ŻҸ�������Transmission
Electron Microscopy�ˤλ����������Ѥ��������褦�ˤʤä���
���ݣ��ݣ�����«�������ӡ�������
�������ˤ����ƽҤ٤��褦�ˡ���«�������ӡ������֤ˤ��礭��ʬ���ơ��ǣ������Ѥǥ��ͥ륮�����������������������٤����֡����֤ȸ������ꥤ�����Ƥ˶ᤤ���Τ⤢���ˤȡ����⥤�������Ѥ�������ʬΥ���ʤ������ͥ륮�������������������������٤����֤Σ����ब���롣���Ԥϥ��ѥå����å�����«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ��塢�������������������Τ����Τ��ΤǤ��ꡢ�ޥ������ڥ����֤��뤤�ϣɣ����̴ѻ����֤Ȥ��ä��������֤ˤʤäƤ������Τ⤢�롣���ԤϽ�«�������ӡ���Ϫ�����������������Ѥ����������֤Ǥ��뤬�����Ӥ����ꤵ�줿�������֤ˤϤʤäƤ��ʤ����Ȥȡ����ε�ǽ��¿�ͤ����鸦���Ѥ����֤ȸƤ֤��Ȥ��Ǥ��롣�ʲ��ˡ�����ξ�Ԥι���������
�����ͥ륮�����������֤Σǣ������ѽ�«�������ӡ������ֶ����γ�ǰ���������ޣ��ݣ��˼������ǣ����ζ�°���������Ȥ����ť������ѡ����㡢���ʹ������и��Ŷ�
��deflector�ˡ��������������˴ޤ���Ϥ�¾���ӡ��༴��������steering�ˤȥ֥���blanking�ˤ����ͤ��Ŷˡ��������������Ѥ��Ŷˡ�stigmeter�ˤ����ӿޤˤϼ������Ƥ��ʤ��������и������夵���룲���ŻҸ����ѤΥ������ͥ��ץ졼�ȡ�channel
plate�ˤ��鹽�������Ƥ��롣�裱���ϰ����Ф�����®�������ͤ����繽�������оΥ��Ǥ��롣�и��Ŷˤ��裲���Ȼ������ơ�����sample
stage�˴֤����֤��������ȡ��������Τ褦���裲���ξ�ή�����֤������礬���롣��ή�����֤��������ˤϡ��и��Ŷˤ����ʹ����ˤ��ư����и�������ƻ����ή¦���Ŷˤˤ���ȿ���������и������������裲�����濴���̤��褦�ˤ��롣�����ˤ��ꡢ�裲�����ų��ˤ����и����Ф����ƶ���̵���Ǥ����ϰϤ��ޤ��뤳�Ȥ��Ǥ��롣�������֤������ϡ��裲���Ȼ����̤ε�Υ�����Ť��뤳�Ȥ��Ǥ����Τǡ����Ϥ���Ψ�����Ǥ��롢���ʤ������ӡ�����ή���ʤäƤ��ä��Ȥ�����ã�����Ǿ��ӡ����¤�����Ū�˾������Ǥ��뤳�ȤǤ��롣�裲���ϥ������ĥ�������Einzel
lens�ˤȸƤФ����оη��Σ��繽�����Ǥ��롣�����ŻҸ��д��ϡ��и��Ŷˤΰ��ֿ������Ȥ߹��碌�ơ����������������������Τ˻��Ѥ����롣���ζ����λ��ͤϡ����ͥ륮���������������֡��Ǿ��ӡ����£��������ʲ����ӡ�����ή̩�٣��ߣ��������������ʣ������������˰ʾ塢������ü���������̤ޤǤε�Υ���������������ϰϣ������̣����Ǥ���������
�����ˡ�����ʬΥ���դ��ν�«�������ӡ������֤ι������������ޣ��ݣ��˼����������ݣӣ��ݣ£����⤢�뤤�ϣУ��ݣΣ��ݣӣ��ݣ£��ݣ¹����������Ȥ������ζ�°�����������Ф�����®�Ϥ��ޤ��裱���ť����ӡ��༴�����Ŷˡ��֥������Ŷˡ��šߣ·��μ���ʬΥ����ѡ����㡢�������������Ŷˡ��裲���ť����и��Ŷˤ����ӣ����ŻҸ��д狼�鹽�������Ƥ��롣�������Ͽ����Ϥ����������֤����롣�ޤǤϣأ٥��ơ����������ϤˤĤ��Ƥ⼨�����Ƥ��롣��®���ͥ륮���ϣ����������������֤Ǥ��뤬�������������ǤϤ��Σ��ܤ��ͤȤʤ롣�����Ф�����®�������ͤ����繽�������оΥ��Ǥ����裱���ˤ��ꡢ���������ӡ��ब�����Ф����롣�����Ф��줿�ӡ����ˤϡ������κ����Ǥ����������������б������������郎�ޤޤ��롣���˼���ʬΥ���ˤ��ꡢ�����椫����˾�Υ��������Τߤ����̤��롣��«�������ӡ������֤ˤϡ��šߣ·�����ʬΥ���ȸƤФ��롢�ų��ȼ����Ȥ�ľ�����������Υ��������ΤߤˤĤ����ų������������Ϥȼ��������������Ϥ��ߤ����Ǥ��ä���ľ�ʤ����������Τ��Τ����Ѥ����롣��«�������ӡ������֤ˤ����ƤϳƸ������ʤθ�������̩�ˤ��碌�뤳�Ȥ�ɬ�פǤ��뤬���šߣ·��μ���ʬΥ�����濴����ľ��Ū�Ǥ��뤿���˸�̩�ʸ������碌����ǽ�Ǥ��롣�ޤǤϹ��⥤�����������Ф��줿ʣ���Υ��������Τ������ӣ������Τߤ��濴�������̤ꡢ¾�Υ��������ʣ£������ӣ������ˤϥ��ѡ������ˤ��ꤵ���������롣�ޤ����ų��Τߤ�Ĵ�����뤳�Ȥˤ���¾�Υ��������˥ӡ������ڤ��ؤ��뤳�Ȥ��ưפˤǤ��롣���̤��줿���������ϡ��裲���ˤ��äƽ�«���졢�и��Ŷˤˤ����и����줿�塢���ơ������ˤ����줿�������åȤ���ã���롣�������åȼ��դˤϣ����ŻҸ��д郎���֤��졢�������������������λ��Ƥ��Ѥ������롣
�ޣ��ݣ����ǣ������ѽ�«�������ӡ������֤ζ�������
�ޣ��ݣ�������ʬΥ���դ��ν�«�������ӡ������֤ι���������
��
���ݣ��ݣ�����«�������ӡ��ൻ�ѤȤ��α���
�ʣ��˽�«�������ӡ���Ϫ��
���Żҥӡ���Ϫ�����֤��������٤����ѤȤ��ơ���«�������ӡ���Ϫ���Ͻ�«�������ӡ����νи���Ʊ���˱��Ѽ�ˡ�Ȥ��Ƹ��椬�Ϥޤä����Żҥӡ���Ϫ�����Ф��ơ��쥸���Ȥδ��٤��⤤���ȡ������Ӷ��ܸ��̡ʥ쥸�������Ǥλ����Τ����˥ӡ��ॵ��������Ϫ���ΰ褬�Ȥ��븽�ݡˤ����������ᡢ�����⤤Ϫ��®�٤����Ӥ������٤ʥѥ����˥����Ԥ��줿�����Ǥ��롣�����������ҤΤ褦�˿����������֤Σǣ����ӡ����Ǥϥ쥸���ȡ��Żҥӡ���Ϫ�����̾����Ѥ������Уͣͣ������Ǥ��������������̣��ʲ��Ⱦ�������������Ū�ʥ쥸���Ȥθ��ߡʣ����������̣��ˤˤ��б��Ǥ��ʤ����������礭�����뤿���ˤϡ��������Υ��ͥ륮�����夲���ʣ������������������֡���ˡ�ȡ��ǣ����������̤ξ��������������Ѥ�����ˡ�����롣���Τ����ˡ������ǽҤ٤��褦�ʼ���ʬΥ���դ��ν�«�������ӡ������֤���ȯ���졢�����������֤Σӣ������ʣУͣͣ��ˤ������¸�Ū�������ϣ��������̣������ˡ������������֤Σ£������ʣУͣͣ��ˤ������¸�Ū�������ϣ������̣����������Υӡ��ब��«�������ӡ���Ϫ���θ������Ѥ����줿��Matsui���ϡ������������֤Σǣ����ӡ������Ѥ��ơ����������֤��Żҥӡ���Ϫ���Ǥ϶��ܸ��̤Τ�����ʬΥ�Ǥ��ʤ��������̣��ֳ֤Υѥ�������ʬΥ�����ޤ������������֤Σ£������ӡ������Ѥ��ơ������ֳ֤Ȥ⣰�����̣��Υ饤���ɥ��ڡ�����line
and space�˥ѥ����������������Żҥӡ���Ϫ�����Ф���ͥ���������������ޤ�Chu���ϡ������������֤Σ£������ӡ������Ѥ��ƣ��������̣��Υѥ����˥����𤷤Ƥ������������ޤ�������Ū�ʻȤ����Ȥ��ơ�Morimoto���ϡ������������֤Σ£������ȣӣ��������Ȥ߹��碌��Ϫ�������쥸���Ȥ��Ф��������κ��ȥ������ӡ�������Ĺ�Ǥ��뿼���������ڤ����ɤ�ʬ�ۤ����Ѥ��ơ��Է��Υ������Ŷˡʥޥå����롼�ॲ���ȤȸƤФ����ˤ��������Ƥ�����������
���������θ����η��̡��Żҥӡ���Ϫ�������Ӥ��ơ����ܸ��̤����������쥸���Ȥ��Ф��ƹⴶ�٤Ǥ����Ȥ��ä�ͥ�̤����������餫�ˤ��줿���������ⴶ�٤Ǥ��뤬�Τ˥����åȥΥ����ȸƤФ�������Ū���ɤ餮�αƶ����������줿�ꡢ�ӡ��༫�Τΰ����������Ӥ����ᤵ�����褦�ˤʤä����ޤ����Żҥӡ��������ӡ�����®�٤��٤������˥֥��ˤ������ӡ������ڤ줬�����ʤ��Ȥ��ä����ݤ��������ۤ����ӡ��ब�쥸���Ȥ�Ʃ�ᤷ�ƴ��Ĥޤ�ã���Ƥ��ޤ����Խ�ʪ���������������̤������롣�������ä������������ˡ����������Żҥӡ���Ϫ�����Ѥ��֤��������ˤϻ����ʤ��ä��������������ε��Ѥ��ų���Υ�������������Ѥ����������ӡ���Ϫ�����ѤȤ��ƷѾ����졢�ѥ����˥����������������٤ˤʤ뼡���������ٲù����Ѥθ����ΰ��ĤȤ��ơ����椵���Ƥ��롣
�ʣ��˥ޥ����쥹����������
����«�������ӡ��ൻ�ѤΥ����������ؤα��Ѥϡ��ޥ����쥹���쥸���ȥ쥹�Ǥ��뤳�Ȥ��������˿�®�Ǵ�ñ�ʥץ������Ǥ��뤳�ȡ������Ӿ����ˤ��������̤�Ǥ�դ����ꤹ�뤳�Ȥ���ǽ�ʼ�ͳ�٤����Ԥ��졢��«�������ӡ����νи��ȤȤ��˸��椬�Ϥ����줿�����������ޥ����쥹�����������⡢��«�������ӡ���Ϫ����Ʊ�͡��ޤ����֤γ�ȯ���Ԥ��ͤФʤ��ʤ��ä����ӣ����Ѥ����Խ�ʪ���ϣ¡��С������Ǥ����ǣ��������Ѥ����Խ�ʪ���ϣ£塢�ӣ��Ǥ��롣��������ñ�ΤǤ�ͻ�����⤤������ͳ�ˤ��ꥤ���������Ǥ��ʤ����ᡢ�У��ݣ����ݣ��������������ݣӣ��ݣ£��������Ȥ��ä������������Ȥ������ζ�°��������ȯ���줿���ޤ�����®���ͥ륮�����̾��Υ������������֤�Ʊ���٤Σ����������������֤��ᤵ���롣���Τ����ˡ��ޣ��ݣ��˼��������Τ�Ʊ�ͤʡ�����ʬΥ���դ��ν�«�������ӡ������֤���ȯ���줿���嵭�����ˤϡ����Խ�ʪ���ȣ���Խ�ʪ����ξ���ޤޤ��Ƥ��뤿���ˡ�Ʊ�����������Ѥ��ơ�����ʬΥ���ˤ��ꥤ�����������뤳�Ȥˤ��ꡢ���Խ�ʪƳ���ȣ�Խ�ʪƳ�����ʤ����Ȥ��Ǥ��롣
����«�������ӡ����������̾��Υ������������֤��Ѥ��������������ΰ㤤�ϡ���ή̩�٤����������礭�����ȤǤ��롣��ή̩�٤κ����������줿�Խ�ʪ��ʬ�ۤ�����Ͷ��������»���ˤɤΤ褦�ʱƶ���Ϳ���뤫�Ȥ��ä������濴�ˡ��ӣ��Х��ݡ��顼�ȥ������κ������������������ӣ��ͣϣӣƣţԡ�
Metal - Oxide - Semiconductor Field - Effect Transistor�ˤκ������������������ӣ������ؤκ������������ǣ������ͣţӣƣţԡ�Metal-Semiconductor
Field-Effect Transistor�ˤκ������������ǣ������������ؤκ������������ˤ����Ƹ��椬�����ʤ��줿�����η��̤ϡ��Խ�ʪ��ʬ�ۡ�»���Ȥ��ä�����Ū�ʥǡ����ˤĤ��Ƥ⡢���������ǥХ������ŵ�Ū�������ˤĤ��Ƥ⡢��«�������ӡ��।�����������̾��Υ������������֤��Ѥ�������ñ�̤������δ֤ǡ�ͭ�٤ʺ��Ϥʤ��Ȥ��ä����Τ��ۤȤ��ɤǤ��롣
���ù�®�٤����������饤�����̾��Υ������������֤��֤������뤳�ȤϤǤ��ʤ��������泫ȯ�μ��ʤȤ��Ƥ�ͭ���������餫�ˤ��졢����Ū�ʱ��Ѥؤ�Ŭ�Ѥϸ��ߤ���³���Ƥ����ʤ����Ƥ��롣ʬ�������ԥ����������֡�Molecular
Beam Epitaxy�������Ȥ߹��碌���������ǥץ������Τ��٤ơʤ��뤤�ϤۤȤ��ɡˤ��ʤ����Ȥ��뿿�����ӥץ������ؤα�����������¾���̻Ҹ��̥ǥХ��������ؤα��������������������ߤ����Ƥ��롣
��
�ʣ��˥��ѥå����å����ޥ������ޥ��˥���
����������ǯ��Seliger�������������ˣ��������֤Σǣ����ӡ������������������������������̣��ʲ��ι¤����ѥå����å��ˤ����������줿�Ȥ��������������������齸«�������ӡ��ൻ�Ѥ��Ϥޤä��櫓�Ǥ����Τǡ����ѥå����å��Ͻ�«�������ӡ����κǽ��α��ѵ��ѤǤ��뤬�������Ϥष���ӡ����¤�ɾ���뤿�����Ѥ��������̤ǡ��ǥХ��������ˤ������˱��Ѥ������˻����ʤ��ä���
�����ѥå����å��μ�Ψ�ϡ����ͤ��������������Υ��ѥå������줿���ҿ������������뤬���̾������������֤ǣ���Ķ���������������������֤ˤ����ƣ������٤κ����ͤ������������ʾ��Υ��ͥ륮���Ǥ����䤫�˸������Ƥ������������ޤ������̤��礭�ʥ������ۤ��礭���ͤ����ġ������������κ��Ͽ������٤Ǥ��ꡢȾƳ�����βù��ˤ����ơ������ƣǣ��ʳ��Υ������������Ѥ����������������Τǡ��ޣ��ݣ��˼������褦�ʡ��ǣ������Ѥǥ��ͥ륮�����������������������٤ζ������̾��Ѥ������롣
����«�������ӡ������Ѥ������ѥå����å��ˤ����Ƥϡ��ù����������ѥå����줿���Ҥκ������ˤ����礭�ʱƶ��������������������������Τ��ᡢ��®��¿�����֤��ӡ������������������ˤ�����Ū�������̤����㤷���������������뤬����®�Ǿ������������������ˤϤǤ��������ѥ����������̷����ϥ������̤�ʬ�ۤ����κ��������롣
�����ѥå�®�٤��夲����ˡ�Ȥ��ơ�ȿ�����Υ���ʷ�ϵ����ǥ��ѥå����å����ʤ�����«�������ӡ��ॢ�����ȥ��å��ȸƤФ�����ˡ�����������������������֤Ȥ��Ƥϼ����ǽҤ٤뽸«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ������Ѥ������Τ�Ʊ�����Τ��Ѥ��롣���θ����ϡ�ɬ���������餫�ˤ����Ƥ����櫓�ǤϤʤ���������ɽ�̤˵��夷��ȿ���������ȴ���ɽ�̤θ��Ҥ�ȿ������ȯ���β���ʪ�ˤʤ�ǮæΥ���뤤��ʪ��Ū���ѥå����ˤ��������������������ˤ����������������롣�ã죲����ʷ�ϵ����ǣ��������֤Σǣ��ܥӡ������ӣ餪���ӣǣ��������Ĥ˾ȼͤ����ӣ��ξ����ǥ����������ȤΤʤ����������٤ƣ��ܡ��ǣ������ξ��磱���ܤΥ��å�����®�٤������줿���Ȥ����𤵤��Ƥ��롣�ޤ����������αƶ��Ϥʤ��������å�����®�٤ϡ����������ӡ�����ή̩�٤Τۤ����������֡����������̤��Ф����ȼͻ��֡��ȼʹֳ֡ˤαƶ����礭����������������
����«�������ӡ��������Ѥ����ޥ����쥹���å��ϡ������˼�ͳ�٤��礭�����ٷ����ù����Ǥ��뤳�Ȥ���Ĺ�ǡ��ޥ������ޥ��˥˱��Ѥ����Ƥ��롣�ޥ������ڥ����ɣý������ɣ����̲ù��ˤĤ��Ƥϸ��Ҥ��롣���ʱ������Ȥ��Ƥϡ�ȾƳ�Υ졼������ü�̲ù��������֤Σǣ����ӡ����Ǥ����ʤ�����Ψ���Ф����ƶ��Ͼ������Ȥ������������������̣����Υ��ƥ��쥹�Ĥ������������֤Σǣ��ܥӡ������Ѥ����ڤ�ȴ�����ڤ�ȴ�������Τ��ӣ����ľ��˺ܤ��������������Ѥ������夷�������������������ץ����ָ�������Scanning
Probe Microscopy�ˤ�õ����ü�������֤Σǣ����ӡ������Ѥ������Բ��ù��������������������ʤɤ����롣�Ѥ��ä����ѤȤ��Ƥϡ���������������������Ĺ���������Σӣ����Ĥˣ��������֤Σǣ����ӡ������Ѥ���ľ�¤����������������̣����٤η�������������������Ĺ�γˤˤ����Ȥ������������������������롣
�ʣ��˽�«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���
��ͭ����°�������ε���ʷ�ϵ����ǥ졼�������Żҡ��������ʤɤΥ��ͥ륮���ӡ������ȼͤ����ȡ�������ʬ�졢���������㤤��ʬ���ȼ����̤����Ѥ��뤳�Ȥϡ��ɽ�Ū�ʣã֣�(Chemical
Vapor Deposition)�Ȥ����Τ��졢��������ǯ���Ϥ������긦�椬�����ʤ����Ƥ��������������������ε��ѤϽ�«�������ӡ����ˤ⤿������Ŭ�Ѥ��졢��«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ�ʱѸ��Ǥ�Focused
Ion Beam Induced Deposition���ƣɣ£ɣĤȸƤФ����ˤ���«�������ӡ������Ѥ������쵻�ѤȤ��Ƴ�Ω���줿���������졼���������Ӥ��ơ��嵯�ӡ��ॵ�����������������ˡ��������٤ʥѥ������������Ǥ��뤳�Ȥ����Ԥ��줿��
����«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ���Ѥ����������֤ϡ����������������֤Σǣ������ѵ��˥����ζ����Ϥ������դ������Τ��Ѥ��롣�����ˤϥ������å����Τ������ѤΥ������С���ʤ���������Ȥ��줿�����̾��Ͽޣ��ݣ��˼����褦�ˡ��ӡ����ȼ����̤˶��ܤ������ٴɤ��Ѥ��ơ������뤹���������������ˤ��ꡢ�����������С����ΤǤο����٤��ϰϤ��ݤ��Ĥġ��ȼ����̼��դΤߤ����������У����٤Υ������ˤ��뤳�Ȥ���ǽ�Ȥʤ롣
��
�ޣ��ݣ�����«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ���Ѥ���������������
����«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ�θ����ϡ�����ɽ�̤˵��夷���������������ȼͤ����������ӡ����Ȥξ��͡�ʪ�����ѥå������褦�Ȥ��븶�ҤȤξ��͡��ɽ�Ū�˲�Ǯ�����뤳�Ȥˤ���Ǯ�ʤɤˤ���ʬ����ȯ������ʬ��æΥ���ƶ�°��ʬ����α�������줵���뤳�Ȥ����������������������Τ����ˡ���«�������ӡ��ॢ�����ȥ��å���Ʊ�͡����������ӡ�����ή̩�٤�¾���ӡ��������ξ���������®�١������ֳ֡ˤˤ��ꡢ����®�١����줷�������������ʽ��١ˤ��ƶ��������롣
����«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ�ˤ������줬���𤵤��Ƥ�����°�ˤϡ��⡢�ץ����ʡ�Ƽ�������ƥ��ʤɤ����롣���ϡ��ģͣ�(��������)�ȸƤФ��륬���ʣ���������������������Dimethyl gold hexafluoro
acetylacetonate�ˤ������Ȥ��롣���������֤Σǣ��ܥӡ������Ѥ����Ǿ������������̣�������Ψ�ϣ�����atoms/ion�������ϣ������ǣᡧ�ϡ��á�����������㣵���㣵�ǡ�����Ψ�ϣ������������������̦����������𤵤��Ƥ������������ޤ���Ʊ�����롼�פ����������֤Σǣ��ܥӡ������Ѥ��ơ������ȣ��������ޤǴ��IJ�Ǯ�����������������ʤ�������Ψ�Ϥɤ������ۤܣ�atoms/ion�Ǥ��뤬�������Ǥ��������������ǣᡧ�áᣵ��������������������Ψ���������������������̦������Ǥ����Τ��Ф������������Ǥ��������������ǣᡧ�á���������������Ȥʤ꣱���������������ˤ���������Ψ�����������̦������ȥХ륯�ʣ������̦��������¤˾������ͤȤʤ뤳�Ȥ����𤷤Ƥ��������������IJ�Ǯ�θ��̤ϡ�Ʊ�����롼�פˤ�������«�����ܥӡ������Ѥ����������μ¸��ˤ������̤���«�������ӡ��������������𤵤��Ƥ����������������ˤ����У��������ˤ����Ƥϥӡ������ȼͤ��Ƥ��ʤ����̤ˤ����Ƥ�Ǯʬ���Τ��������줬�����ʤ����뤳�ȡ������������ˤ����Ƥ������ϣ����ȣä�Ʊ���٤Ǥ�������Ψ�ϣ����������̦����������̴ѻ����ȶ��η뾽γ���Խ�ʪ�����Ǹߤ���Υ�줿�ޤޤ��⤫���Ǥ����Τ��Ф������IJ��٤��夲�Ƥ����ȶ��ν��٤��夬���뾽γƱ�Τ��ܤ����̾���¿�뾽���֤ˤʤꡢ����Ψ���Х륯�¤��ͤȤʤ뤳�Ȥ��Ƥ��롣�������������ˤ����Ƥϡ����IJ�Ǯ�θ��̤θ����ˤĤ��Ƥ����餫�ˤϤ����ƤϤ��ʤ�������Ǯ�ˤ���ʬ����ʬ��Υæ®�٤��Ф����ƶ���Ʊ���ˡ������������Τ�Ǯʬ���δ�Ϳ�⤫�ʤ������Ƥ������ΤȻפ����롣
���ץ����ʤ������ϡ�������(�ͣ��ã�)�У��ͣ�������(Methylcyclopentadientyl trimethyl
platinum)���Ѥ������롣���������֤Σǣ����ӡ������Ѥ��������ˤ��ꡢ�Ǿ������������̣�������Ψ����atoms/ion���������У����ǣᡧ�á��ϡᣴ������������������������Ψ�������������̦����������𤵤��Ƥ������������ץ����ʤξ����ˤϴ��IJ�Ǯ�����ȡ������������Τ�����ɽ�̤˵��夷�ʤ��ʤ뤿�ᡢ���IJ�Ǯ�ˤ��������ٲ��Ϥ����ʤ����Ƥ��ʤ���
��Ƽ�����������ߤ����Ƥ��ꡢ���������Ȥ��ƣã�(��������)�ԣ֣ͣӤȸƤФ��륬��(Copper
(+1) hexafluoro acethylacetonate trimethylvinylsilane)���Ѥ������롣���������������֤Σǣ����ӡ������Ѥ����Ǿ������ϣ��������̣�������Ψ�ϣ���������atoms/ion�������ˤ����������Ǥ������ϣã��ȣä�Ʊ���١�����Ψ�ϣ����̦������ʾ��Ǥ��뤬�����IJ��٤������ʾ��ˤ������ȡ����٤Ͼ夬�ꡢ����Ψ���Х륯�ʣ������̦������ˤ˶ᤤ�ͤ˲����ꡢ��¤�����ˤ�����������������Ʊ�ͤ��Խ�ʪ�ؤΤߤ����ʤ�¿�뾽�Ȥʤ뤳�Ȥ����𤵤��Ƥ�����������
�������ƥ��������ˤϡ��̾���(�ã�)�����Ѥ������롣���������֤Σǣ��ܥӡ������Ѥ��ơ�����Ψ������atoms/ion���������ס��ǣᡧ�á��ϡ������������������������Ψ���������������̦����������𤵤��Ƥ�����������
�����Τۤ������������ʣ������������������Ȥ���ú�Ǥ����죴���ˡ��ԣͣϣӤȸƤФ��륬���ʣӣ�(�ϣã���)����Tetramethoxysilane�ˤȻ��Ǥκ��祬���������Ȥ����ӣ������������������������ʤɤ����롣
����«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ�����줷���ѥ������ϡ��Խ�ʪ��¿���ޤߡ��ŵ�Ū���������Х륯�ȤϤ��ʤ��ۤʤ뤿�ᡢ�������Ӥ����Ҥ����ޥ������ڥ����ɣý����ʤɤ˸¤����Ƥ��롣��Ĺ���������˴ؤ��������ϡ�����ʬ�μ����Ǥ��뽸«�������ӡ���ľ�ܾ���ˡ�Ȥ����Ӥˤ����ơ��������Ǥ����ʤ����Ȥˤ��롣
��
�ʣ�������������������������ʬ�ϱ���
����«�������ӡ������и��Ŷˤ�������������ɽ�̤���ȯ�����룲���ŻҤФ����ãңԾ��ǰ��֤��ǥե쥯���ο��桢���٤��ŻҶ��٤�ɽ���������ȡ������ŻҸ�������Scanning
Electron Microscope������Ʊ�ͤʡ������������������������뤳�Ȥ��Ǥ��롣���٤Ƥν�«�������ӡ������֤ˤϤ��ε�ǽ��Ϳ�������Ƥ��ꡢ�Ǥ�����Ū�ʵ�ǽ�Ǥ��롣���ּ��Τ�Ĵ���ʥӡ����¡��ӡ��������κ�Ŭ���ˤϡ��������������������ʤ����������Ű����ӡ��༴�����Ŷˡ��������������Ŷˡ����ѡ��������֡�������������Ĵ�����뤳�Ȥˤ��ꤪ���ʤ����ޤ���¾�α��Ѥˤ����Ƥ⡢����ɽ�̤δѻ����ù����̤ΰ��ֹ��碌���ù��γ�ǧ�����Ѥ���������������
�������������������ˤ��룲���Ż�����Ψ�ϡ������ŻҸ�������Ʊ�͡�����ɽ�̤η��������ǡ��뾽���̡��Ű����˰�¸���롣���������������������ŻҸ����������Ӥ��ơ����ꥳ���ȥ饹�Ȥ��Ĥ��䤹�����ᡢ�����ŻҸ��������Ȥϰۤʤ��������������롣���Ȥ��С�����ɽ�̤��ʺ���ʬ���������ΤˤȤ館�뤳�Ȥ��Ǥ��롣�ޤ�������ʪ���ѻ������Ȥ������㡼�����åפȸƤФ���ɽ�̤��Ų٤����Ѥ���ɽ���Ṳ̋��徺���븽�ݤαƶ����ӡ������֤ˤ����ܤ����̤������������ˡ��������ѷ������ʤ������Τ��ᡢƳ��ʪ�ǻ���ɽ�̤���ʤ���뤳�Ȥ����פǤ��롣����Ū�ʱ������Ȥ��Ƥϡ�����ɽ�̤��������������뤳�Ȥʤ����뾽γ�δѻ����ʤ����Ȥ���ǽ�Ǥ��뤿�ᡢȾƳ�ΥǥХ����ζ�°�����ؤη뾽γ�ѻ����Ѥ������Ƥ����������������������������η����ϡ��ѻ����˻���ɽ�̤ѥå����å������ޤ��������Ф��������������뤿���ˡ�ͭ�դʴѻ��Ϥ������αƶ����Ǥʤ����٤�û���֤˸¤����뤳�ȤǤ��롣
��������������������Ʊ�ͤˡ��������˥������ӡ�������������������������¬�ꤹ���ȡ�������Ū�ʣ�������������ʬ���������뤳�Ȥ��Ǥ��롣���Τ��������֤ϡ������ŻҸ��Ф����Ӥ��Ƥ��ʤ��礬�����ˤʤꡢ��������������Ψ�褯���������طϤ����Ӽ���ʬ�ϴ��ˤ��깽�������롣����ʬ�ϴ��ˤϡ����Ŷ˸�ή�ų����Ѥ��������������ż��Фˤ����ż������Ѥ��������ȤΣ����������롣�ޣ��ݣ��ˡ����Ŷ˸�ή�ų����Ѥ������������ֹ����������������ޤ������ѥå����å��ˤ������̤��������������������̤Σ�������������ʬ�ϲ����뤳�Ȥ���ǽ�Ǥ������������������̾��«�������ӡ������֤ˣ�������������ʬ�ϵ�ǽ���Ȥ߹��ޤ��뤳�ȤϤޤ��ǡ��ष����������������ʬ�����֤������ӡ����¥������ƤȤ��ơ��ޣ��ݣ��˼������褦�ʽ�«�������ӡ����������Ȥ߹��ޤ������礬¿����
��
�ޣ��ݣ�����������������ʬ�Ϥ��ʤ����ֹ�����������
��
�ʣ��˥ޥ����������ɣý���
��������ե������Ѥ����ե��ȥޥ����ν����ϡ��ù�®�٤����ޤ������ȤϤʤ��ʤ����ᡢ�����饤���˼������ޤ������ǽ��μ���Ū�ʽ�«�������ӡ������ѵ��ѤȤ������ߤ������ʤ��줿���ե��ȥޥ������̾���饹���Ĥȥ��饹���ľ������졢�ѥ����˥��줿���������������Σã��ˤ��깽�������Ƥ��롣�ե��ȥޥ����η��٤ˤϡ�Ʃ���Ǥ����٤���ʬ����Ʃ���ˤʤäƤ��������١�opaque
defect�ˤȡ���Ʃ���Ǥ����٤���ʬ��Ʃ���ˤʤäƤ��������١�clear
defect�ˤΣ����ब���롣�����٤ν����ˤϡ����������������֤Σǣ��ܥӡ����ˤ��륹�ѥå����å����Ѥ������롣�����ᤤ�����˥ե��ȥޥ����������֤Ȥ������夷���졼�������Ѥ������Τ����١��ӡ����¤���������ǮŪ�ʲù��ǤϤʤ������ˤ�����̩�ʽ��������Ԥ��줿���������ã��ؤν����Ȥ������Ǥϴ��Ԥ��줿���٤�ã�����줿�������ϤΥ��饹�ؤؤΣǣ��ܥ������������ȡ������ˤ�������Ʃ��Ψ���㲼�Ȥ������ݡʽ�����ʬ�������٤Ȥʤ��ˤ��������Ȥ������餫�ˤʤä��������ؤ����ǥ��å�������ˡ�����𤵤��Ƥ����������������٤ν����ϡ������ϥ��ѥå����å��ˤ���������ʬ�������ʥץꥺ�����������Ƥ�����ʬ�θ���ľ�ʤ�˸�����ͤʼ�ˡ�����𤵤줿������������«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ���и������ȡ����μ�ˡ�ˤ����ä��������Ѥ����褦�ˤʤä����������ޥ������������Ӥܤä��������֤⤤���Ĥ��ξ��ѵ���ȯɽ�����Ƥ��롣
������������ե����Ѥ����ޥ����ϡ��ӣ����Ĥȣӣ����ľ������졢�ѥ����˥��줿�������������̣����٤Σ������ԣ��ˤ��깽�������Ƥ��롣�ե��ȥޥ��������Ӥ��ơ��ѥ����˥ˣ������̣��Ȥ��������٤��ᤵ�졢�ޤ���°���ؤ�����������ǮŪ�ʲù�ˡ��Ŭ���ʤ����ᡢ�졼���������Ѥ����ե��ȥޥ����������֤Ǥ��б��Ǥ��ʤ������Τ��ᡢ��«�������ӡ��ൻ�Ѥ��Ѥ����ޥ������������Ԥ����Ƥ��롣�ե��ȥޥ��������ΤȤ��������Ȥʤä����Ĥؤ�������»���θ��̤ϡ�������Ʃ�����Ф��ƤϤ����ܤ����̤����������������ȤϤʤ��ʤ��������٤ν����ϥ��ѥå����å��ˤ��ꤪ���ʤ��������٤ν����ϣ������ס��У����ν�«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ����ˤ��ꤪ���ʤ����������������ٽ������ˤϡ��ù����ߤ��礭�������������αƶ��������䤹�����ȡ����ѥå�����Ψ���뾽���̤˰�¸���뤳�Ȥ��������륹�ѥå�������®�٤ξ����ˤ����ʷ뾽γ�ˤ������ԶѰ��Ȥ��ä������������餫�ˤʤäƤ������ޤ��������٤ν����ˤ����Ƥ⡢�ù����ߤ��礭�����Ȥ��������������塢�����ӥ������Ⱦ��夷���������Խ�ʪ��¿��̩�٤������������ˡ����Ȥ��ȤΣ����ۼ��ؤθ��ߤ��꽤�����̤θ��ߤ��礭�����ʤ����Фʤ��ʤ��ʤ����礭�ʥ����ڥ����椬�ᤵ�����ˤȤ��ä���������������������������������ե������Τθ����Ȥ��碌�ơ��������Ѥ���Ω���뤿���ˤ����������������Ф��븦�椬³�������Ƥ��롣
�����ѥå����å��Ƚ�«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ������Ȥ߹��碌���С��ݸ�����ʤ�����Ƥ����ɣä������ѥ��������������뤳�Ȥ���ǽ�Ǥ��롣���ʤ�����������������������ǽ�ˤ��ꡢ�������֤���ǧ�������˥��ѥå����å��ˤ�����˾�������ѥ�������Ϫ�Ф����ޤǹ¤��������롣�����ؤ�Ϫ�Ф����饹�ѥå����å��ˤ������ǡ��������Ⱦ����ˤ�����³���뤤���Ŷ˷������ʤ����Ȥ��Ǥ��롣�ù����Ȥ��ơ��ãͣϣӡ�
Complementary Metal - Oxide - Semiconductor�ˤˤ����У̣���Programmable
Logic Array�ˤ����������Ǥ���������ǯ�����𤵤줿�������Τ��Ϥ��ˡ��ӣ��������Σ����ѥ��������ǻ����������ͦ��ʾ��Ȥʤ���������������«�������ӡ��ॢ�����Ⱦ���ˡ�ˤ����ӣ��ϣؤ����줷�����ؤȤ����Ѥ��������������������롣���˾Ҳ𤹤����̴ѻ��ۤɤϼ��Ѳ������Ƥ����Ȥϸ¤��ʤ�������«�������ӡ����ˤ����ɣý����ϡ�¿���������Ф��ƤϤ����餫���¤��������ΤΡ��ɣäθξ����Ϥμ��ʤȤ��ơ�ȾƳ�Υץ������ˤ����Ƽ���Ū�ʼ�ˡ�Ȥ������夷�ĤĤ�����������
�ʣ��ˣɣ����̴ѻ������̲ù�
����������ǯ���ν������ˡ����ѥå����å��ˤ����ɣä�Ǥ�դΰ��֤˹¤ꡢ���̤��ѻ�������ˡ���и������������������������������������ˤ����ѻ����֤���ǧ�������ѥå����å��ˤ����¤ꡢ�������������������������ˤ������̤ι�¤���ѻ����롣����Ū�ʸ��������äƤ��������ޤǤ����̲ù������Ӥ��ơ����̤������˱����Ǥ����ޤ�Ǥ�դΰ��֤����̤��ù����뤳�Ȥ��Ǥ����Ȥ������Ѿ�ͭ������Ĺ�����ġ����μ�ˡ�ϡ��ξ����Ϥμ��ʤȤ������줿�����ºݤˤϤष���ץ������γ�ǧ�ѤȤ��ơʤ��Ȥ��С����̷��ˤ����ش������ξ�����ǧ��ȾƳ�λ��Ȥˤ�����ͭ������ǧ�����졢�絬�Ϥ������饤���ˤ�ɬ��ɾ�������֤Ȥ����Ȥ������������褦�ˤʤäƤ��롣��«�������ӡ��ब���˼���Ū�ʼ�ˡ�Ȥ��Ƴ�Ω��������Ū�˺Ǥ��ɤ����Ѥ����Ƥ������Ǥ��ꡢ���Ѥξ��ȵ������뤵���Ƥ��롣��«�������ӡ������Ф��ƼФ��������ŻҸ��������Ȥ߹��������֤⡢���ȵ������뤵���Ƥ��뤬�ܼ�Ū�ʰ㤤�Ϥʤ���
���ѻ����������̤��Ф���ξ¦�����¤ꡢ�������������٤��������Ĥ����Ȥˤ��ꡢƩ���ŻҸ��������Ѥ����������������뤳�Ȥ��Ǥ�����������Ʃ���ŻҸ������ˤ����ơ����������ʴѻ��������ΰ����������첽�ˤϺǤ������ѤǤ��뤬����«�������ӡ������Ѥ����������������������ˤ������ֳ�ǧ�ȹ²ù��ϡ�������������ô�������˷ڸ������뤿�ᡢ��«�������ӡ������Ѥ���������������®�����ڤ��Ƥ��롣