滝田正俊さん に関する公開一覧

登録一覧

※一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

検索結果：1～1件を表示（1件中）　1/1ページ目

公開年

  1. 技術 薄膜トランジスタ−用石英ガラス基板

    【目的】本発明はトランジスタ−の特性が向上した、液晶ディスプレイが急速に立上がることが可能な薄膜トランジスタ−用、特にはp-Si薄膜トランジスタ−用石英ガラス基板の提供を目的とするものである。【構成】本発明の薄膜トランジスタ−用石英ガラス基板は、OH基含有量が50ppm 以下で、塩素が存在せず、しかも金属不純物、特にアルカリ金属またはアルカリ土類金属含有量が１ppm ...