(cache) [Q&A] 半導体製造装置について【OKWave】

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質問No.3807024

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karamimach

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半導体製造装置について

半導体製造装置についての知識が全くないので、半導体製造装置の所有コストについて説明してある英語の解釈があっているのかどうか自信がありません。

Cost of Ownership commitment is a Cost per Wafer Pass (CPWP) and/or cost per billion pulse(CPBP） and/or Cost per Tool (CPT).
とあり、
CPWP is based on the number of wafer passes through the Equipment and total Spare parts consumed by the Equipment.
「CPWPは、装置を通過するウェーハ数および装置が消費するスペア部品の総数に基づく」

CPBP is based on the number of billion pulses through the Equipment and total Spare Parts consumed by the Equipment.
「CPBPは、装置を通過する10億パルスの数および消費するスペア部品の総数に基づく」

CPT is based on the total Spare Parts consumption through the Tool.
「CPTは、ツール全体のスペア部品の消費数に基づく」

という解釈でいいのでしょうか？

裏付ける知識のない単なる英文解釈ですので、半導体装置についてご存知の方、宜しくお願いします。

　

投稿日時 - 2008-02-24 23:31:46

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回答No.1

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joshsan

リソグラフィ工程（露光工程）では、光源にエキシマレーザが使われており、レーザチャンバーやミラーなどの部品の寿命（交換時期）の目安として、レーザ光の照射回数が使われます。このとき10億回（billion pulse）を単位として考えます。

CPBP is based on the number of billion pulses through the Equipment and total Spare Parts consumed by the Equipment.
「CPBPは、レーザ光の10億パルス単位での照射回数および消費するスペア部品の総数に基づく」

投稿日時 - 2008-02-25 11:20:22

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(現在0人が支持しています)

お礼

joshsanさん、
図書館で半導体関連の本を借りてきたのですが、10億パルスだけでは
どこをどう調べたらいいのか手がかりがつかめず困っていたので、助かりました。

有難うございました。

投稿日時 - 2008-02-25 23:08:01

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