【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電子デバイスを作製する方法であって、
ナノチューブの懸濁液を調製するステップと；
前記懸濁液をろ過して、ろ過膜上にナノチューブの薄膜を形成するステップと；
基板の上に前記薄膜を堆積させるステップと
を含む方法。
【請求項２】
前記基板の上に前記のナノチューブの薄膜を堆積させる前記ステップが、
エラストマースタンプを使用して、前記ろ過膜から前記薄膜を剥がすステップと；
前記基板上に前記エラストマースタンプを押し付けて、前記エラストマースタンプから前記基板へ前記薄膜を移すステップと
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記のナノチューブの懸濁液を調製する前記ステップが、前記懸濁液を撹拌するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記懸濁液が超音波で撹拌される、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記懸濁液を調製する前記ステップが、前記懸濁液中で前記ナノチューブを官能化するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記ナノチューブがアーク放電ナノチューブである、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記薄膜上に平滑化層をスピンコーティングするステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記薄膜が、3.1nm以下のrms粗さまで平滑化される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記薄膜にドーピングするステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記薄膜に、抵抗160Ω/□以下まで導電率を向上させるドーパントをドーピングする、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記薄膜をパターニングして複数の画素を形成するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記基板の上に有機層を堆積させるステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記有機層の上に電極を堆積させるステップをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記有機層が発光層である、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記有機層が光活性層である、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
アーク放電ナノチューブの薄膜を備える第1の電極と；
第2の電極と；
前記第1の電極と前記第2の電極との間に、前記第1の電極および前記第2の電極と電気的に接触して配置される光活性有機層と
を備えるデバイス。
【請求項１７】
前記第1の電極が3.1nm以下のrms粗さを有する、請求項１６に記載のデバイス。
【請求項１８】
前記第1の電極が500Ω/□以下のシート抵抗を有する、請求項１６に記載のデバイス。
【請求項１９】
前記第1の電極が少なくとも75%の透明度を有する、請求項１８に記載のデバイス。
【請求項２０】
前記第1の電極が、160Ω/□以下のシート抵抗および少なくとも87%の透明度を有する、請求項１６に記載のデバイス。
【請求項２１】
前記ナノチューブが単層ナノチューブである、請求項１６に記載のデバイス。
【請求項２２】
前記有機層が有機発光材料を含む、請求項１６に記載のデバイス。
【請求項２３】
前記有機層が有機感光性材料を含む、請求項１６に記載のデバイス。
【請求項２４】
前記第1の電極がドーピングされている、請求項１６に記載のデバイス。
【請求項２５】
前記第1の電極がSOCl2でドーピングされている、請求項２４に記載のデバイス。
WHAT IS CLAIMED IS:
1. A method of manufacturing an optoelectronic device, comprising: preparing a suspension of nanotubes; filtering the suspension to form a thin film of nanotubes on a filtration membrane; and depositing the thin film over a substrate.
2. The method of claim 1, wherein depositing the thin film of nanotubes over the substrate comprises: using an elastomeric stamp, peeling the thin film off the filtration membrane; and pressing the elastomeric stamp onto the substrate to transfer the thin film from the elastomeric stamp to the substrate.
3. The method of claim 1, wherein preparing the suspension of nanotubes comprises agitating the suspension.
4. The method of claim 3, wherein the suspension is agitated ultrasonically.
5. The method of claim 1, wherein preparing the suspension comprises functionalizing the nanotubes in the suspension.
6. The method of claim 1, wherein the nanotubes are arc discharge nanotubes.
7. The method of claim 1, further comprising spin-coating a smoothing layer on the thin film.
8. The method of claim 7, wherein the thin film is smoothed to an rms roughness of not more than 3.1 nm.
9. The method of claim 1, further comprising doping the thin film.
10. The method of claim 9, wherein the thin film is doped with a conductivity-enhancing dopant to a resistance of not more than 160 Ω/D.
11. The method of claim 1, further comprising patterning the thin film to form a plurality of pixels.
12. The method of claim 1, further comprising depositing an organic layer over the substrate.
13. The method of claim 12, further comprising depositing an electrode over the organic layer.
14. The method of claim 12, wherein the organic layer is an emissive layer.
15. The method of claim 12, wherein the organic layer is a photoactive layer.
16. A device comprising: a first electrode comprising a thin film of arc discharge nanotubes; a second electrode; and a photoactive organic layer disposed between and in electrical contact with the first electrode and the second electrode.
17. The device of claim 16, wherein the first electrode has an rms roughness of not more than 3.1 nm.
18. The device of claim 16, wherein the first electrode has a sheet resistance of not more than 500 Ω/D.
19. The device of claim 18, wherein the first electrode has a transparency of at least 75%.
20. The device of claim 16, wherein the first electrode has a sheet resistance of not more than 160 Ω/D and a transparency of at least 87%.
21. The device of claim 16, wherein the nanotubes are single-walled nanotubes.
22. The device of claim 16, wherein the organic layer comprises an organic emissive material.
23. The device of claim 16, wherein the organic layer comprises an organic photosensitive material.
24. The device of claim 16, wherein the first electrode is doped.
25. The device of claim 24, wherein the first electrode is doped with SOCl2.
【特表2010-515205】
ＷＯ２００８／１０５８０４
より引用