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M5-1 水熱合成法を用いた圧電薄膜アクチュエータの紫外光駆動(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
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山口 大介
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殿界 明真
,
神田 岳文
,
鈴森 康一
Light-driven actuators are effective for a miniaturization of micro devices because those actuators can be driven by non-contact energy supply. PLZT is a ferroelectric material which has a photostrict …
マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2009(1), 83-84, 2009-10-15
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