- 奥村裕 代表取締役社長
奥村裕は、株式会社エフオーアイの創業者であり、創業以来、一貫して社長として会社をリードしています。
奥村裕は、1950年に北海道で生まれ、1973年に北海道大学工学部を卒業しました。電気工学専攻で、電磁場の解析などを得意としております。ＮＥＣ株式会社、東京エレクトロン株式会社などを経て、1994年に当社を創業しました。
ＮＥＣ株式会社で学んだ半導体技術、東京エレクトロン株式会社で学んだプラズマプロセス装置の知識を駆使して、創業以来当社の技術をリードし、次世代型のプラズマエッチング装置などの開発を指揮しております。会社の経営に注力する一方で、次の当社を担う後進の指導にも力を入れております。
- 上畠正和 代表取締役専務
上畠正和は、2001年3月に取締役に就任しました。
上畠正和は、1964年に石川県で生まれ、1988年に明治大学法学部を卒業しました。大学卒業後、野村證券株式会社に入社し、主に証券営業に従事しました。
2000年にＳＢＩインベストメント株式会社に入社し、ベンチャー投資業務に従事した後、当社に入社しました。 当社では、代表取締役であるとともに、最高財務責任者兼管理部門統括の役割を担い、当社が考える資本政策を実現するために全力を尽くしております。
- 河野六甲 取締役
河野六甲は、2003年9月に入社しました。
河野六甲は、1962年に大阪府で生まれ、1988年に大阪大学基礎工学部を卒業しました。大学卒業後、東京エレクトロン株式会社に入社し、主にフィールドサービスに従事しました。その後、ノベラスシステムズ・ジャパン株式会社（現日本ノベラスシステムズ株式会社）、セミツールジャパン株式会社等の営業職を経て、当社に入社しました。
当社では、取締役であるとともに、営業部門統括の役割を担い、当社の営業マーケティング活動を推進しております。
- Georgy Vinogradov 取締役
Georgy Vinogradovは、2002年5月に入社しました。
Georgy Vinogoradovは、1949年にロシアで生まれ、レニングラード工科大学物理学部を卒業しました。大学卒業後、ソビエト科学アカデミーPlasma Chemistry中央研究所等でプラズマ研究に従事し、1988年にソビエト連邦の“Senior Scientific Fellow”の称号を得ました。
1992年に名古屋大学客員教授として招聘され、その後、MCエレクトロニクス株式会社等を経て、当社に入社しました。当社では、取締役であるとともに、研究開発部門統括の役割を担い、最先端の研究開発活動を推進しております。
- Michael Ricks 取締役
Michael Ricksは、2003年6月に取締役に就任しました。
Michael Ricksは、1961年に米国で生まれ、カリフォルニア大学を卒業しました。その後、シカゴ大学でMBAを取得し、アーリーステージ及び大企業のIT・テレコミュニケーションビジネスに従事しました。
その後、Ericsson中国、imGO（スエーデンInvestorAB子会社）のCEOを経て、2002年にInvestor Growth Capital AsiaのCEOに就任しました。
当社では、社外取締役であるとともに、当社に対して、エレクトロニクス産業全般及び東アジアビジネスに関する助言等を行っております。