ハロゲンランプヒータは、他の熱源では実現することができない「高速昇降温と非接触加熱」を可能にする熱源で、大型ガラス基板に対応する長尺化を可能にしました。ハロゲンランプヒータを用いる事で、タクトタイム短縮やフットプリント縮小に大幅に貢献します。

高効率なエネルギー源

投入電力の85%以上を赤外線に変換、放射する高効率なランプ式放射加熱源です。消費電力の抑制は、ランニングコストの低減を実現します。

優れた昇降温性能

熱容量の小さなタングステンフィラメントを発熱体とし、非接触 高速昇降温が可能です。
ガラス基板を加熱した場合、数10秒で所定の温度まで昇温可能です。加熱時間の短縮による処理能力の向上を実現します。
また、常時電力を消費する抵抗加熱源と異なり、すばやい立ち上がり性能は、必要な時ON、不要な時OFFで、ランニングコスト削減します。

ガラス基板吸収特性とハロゲンランプヒータ波長特性 高いコントロール性能

光学設計されたヒータユニットと専用PID制御システムにより、他の熱源では達成できない、優れた熱制御を実現します。

長尺・クリーンな熱源

ハロゲンランプヒータは、小型・軽量の利点を活かし、最長2.5Mまでのヒータ製作が可能です。また、当社独自のランプ形状を用いる事で、更に長い距離にも対応する事ができます。非接触加熱のため、クリーンな雰囲気を保ち、大気中・真空中など加熱雰囲気も問いません。光加熱は、ガスを放出することもなく、CO2放出削減にも効果があります。

長寿命で一定のエネルギー放射

ハロゲンサイクルの働きで、他のハロゲンランプヒータにはない長寿命設計が可能です。更に、他熱源のような経時変化がないため、寿命末期までほぼ一定のエネルギー放射を維持します。

東京　TEL: 03-3242-5058 / FAX: 03-3242-2700
大阪　TEL: 06-6306-5711 / FAX: 06-6306-5718

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