参加募集 | 2009 IEEE International Interconnect Technology Conference | ||||||||||||||||||
本国際会議は,銅・低誘電率(Cu/Low-k)多層配線構造に関する学会として、例年サンフランシスコで開催されておりましたが、 今般,アジア、欧州、北米間を往来しての開催となり、初の北米外開催地として札幌市が選ばれました。これには,配線技術に対する 日本の関心の高さが評価された背景があり、また学会に専念できる環境の良さが評価されたものでもあります。 会議の対象分野はULSI銅・低誘電率多層配線構造に限らず、材料・要素プロセス技術、メモリ・ロジック向けプロセスインテグレーション技術、 プロセス制御・モデリング技術、信頼性技術、TSV及び3Dインテグレーション技術、配線システム技術、パッケージ技術、新規材料・新規コンセプト 技術などをカバーしています。 今年の基調講演にはパナソニック株式会社・戦略半導体開発センター所長の藤川悟氏をお招きし、微細化では22nmに向けたCuコンタクトや 、機能の多様化の端緒となるメモリ/ロジックの3次元実装など、招待講演12件を含め、総計80件の講演を予定しております。また本会議前日 (5月31日)には配線技術分野に関するショートコースも開催致しますので、こちらにも奮ってご参加ください。 初の日本開催にあたり、大学、研究機関、産業界の研究者、技術者の方々に多く参加いただき、今日の配線技術は勿論のこと、明日の 次世代新規配線技術を理論、実験の両面から活発に議論を行なう場としたいと考えております。 2009 IITC (International Interconnect Technology Conference) 【学会HPへ】
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