株式会社アプライド・マイクロシステム Applied Micro Systems
微少液滴塗布システム
概要
微少液滴塗布システムは0.1〜数100 pl（ピコリットル）と言う微少量の液体を塗布することが可能です。
微少液滴塗布の原理
塗布された液滴（粘度 １，０００ｃP）
塗布液体は、毛細管現象によってガラス管に吸い上げられ、表面張力で保持されます。ガラス管の上から直径10〜200 μmのタングステン針を降ろして液体の中を貫通させます。タングステン針は、その先端に微少量の液体が付着したまま、ガラス管下部の穴から抜け出されます。さらにタングステン針を降ろすことで、先端に付着した液体を塗布基板へ転写させることができます。
概要図
塗布部
移動機構部
- 塗布部・・・・・・・ガラス管＋タングステン針
- 移動機構部・・・・ＸＹステージ Ｚステージ
- 制御部・・・・・・・パソコン＋コントローラ
制御部
微少液滴塗布の原理
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