<%@LANGUAGE="VBSCRIPT" CODEPAGE="936"%> (cache) リバーベル株式会社

大気圧
誘導結合プラズマ製品紹介
製品： Mercury Series
製品： Jupiter Series ( μ -AICP)
大気圧 ICP の原理
プラズマ温度 ： 3000 〜 8000 K 電子密度 ： 10 15 cm -3

コンタミネーションが入りません

無電極で高密度 プラズマ

マルチガスが可能です

旋回流を用いたガス流であり、ハイパワーを実現できます（ 5 kW 可能）
マルチガス ICP の例（ Mercury ）

マルチガスの ICP を実現しています。これは世界的に類例がありません 。

水素ガスは他の希ガスと混合して用います 。
大気圧 ICP モジュール装置 ； Mercury Series
大気圧 ICP Mercury 仕様１

パワー : 300 〜 2000W

トーチ内径；　 10 〜 30 mm φ

?温度： 3000 〜 8000K

プラズマガス種類： Ar, He,N2,O2 ? 周波数：　４０ MH ｚ標準

?自動イグニション機能

自動マッチング機能

販売価格： 800 万円 ~

μ -ICP モジュール装置； Jupiter Series
μ ICP モジュール Jupiter 仕様

パワー： 5 〜 200W

トーチ内径： 2 mm φ、 1 mm φ以下

周波数： 144MH z 基準（変更可能）

自動イグニション ? 自動マッチング

販売価格：　 300 万円 ~

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