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26GHz動作が可能なMEMSスイッチ、
米TeraVicta社が製品化
(2007/03/05)
 米TeraVicta Technologies社は、「世界最速」と主張するMEMSスイッチを2007年3月5日(米国時間)に発表する。26.5GHz動作が可能なSPDT(Single Pole Double Throw)スイッチで、外形寸法は3.25mm×4.5mm×1.25mmである。デジタル・テレビや衛星通信、フェーズド・アレイ・レーダーなどに向ける。今回のMEMSスイッチは、2006年に発表した7GHz動作品に続く2つ目の製品である。7GHz動作品は、半導体チップの自動テスト装置(ATE)や無線機器をターゲットにしていた。

 TeraVicta社の最高経営責任者(CEO)であるRay Burgess氏は、「7GHz動作品は、スイッチが閉状態のとき、つまり配線が接続されているときは挿入損失がほとんどゼロである。この特性は、無線機器のアンテナ・スイッチとして非常に魅力的である」という。MEMSスイッチが登場する以前は、高周波用スイッチとして、1970年代に開発された機械式リレーやリード・リレーが使われていた。しかしMEMSスイッチの登場で、より効率的になった。この結果、「ATEメーカーの上位6社、半導体メーカーの9社、計測機器メーカーの上位8社がMEMSスイッチに切り替えた」と同社は主張する。「当社は、外形寸法が大きく、寿命が短いリレーを、セラミック/ガラス基板にスパッタやエッチング、めっきを施すことで製造するMEMSスイッチに置き換える。そのため、MEMSスイッチをクリーン・ルームの環境で密閉封止できる独自の工場を建設した」(同氏)。

 TeraVicta社は現在、テキサスの工場で月産1万個規模でMEMSスイッチを量産する一方で、2007年末までに月産100万個規模の量産を可能にすべく、香港の工場で生産を開始する準備を進めている。同社は、SP4T(Single Pole Four Throw)タイプに加えて、DPDT(Double Pole Double Throw)タイプのMEMSスイッチの製品化も検討しており、無線機器で使うアンテナ・アレイをターゲットとしている。このほか、光通信のバックボーンや、RFIDの基地局などの市場も狙う。(R.Colin Johnson:EE Times)

詳細リンク >>  米TeraVicta Technologies社(ホームページ)
 
RF / Microwave / Optics
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