オムロンがMEMS製造用200mmラインを構築

　オムロンがMEMSの製造に向けた200mmラインを，滋賀県野洲市にある子会社のオムロン セミコンダクターズの工場内に設置した（ニュース・リリース）。自社製品の開発および量産に利用する。2008年4月にMEMSマイクロフォンの量産を開始し，その後RF MEMSスイッチや圧力センサといった需要増が見込まれる分野のMEMSデバイスの生産を順次開始する。2008年度中には約1000枚/月の生産規模にする予定。

　これまで同社は，125mmラインでMEMSを生産していた。需要増への対応と競合他社に対する価格競争力の強化を狙って，生産規模の拡大と製造コストの低減が不可欠と判断し，ウエハーを大口径化した。既にエッチング装置や成膜装置など三次元構造体を形成するための設備は導入済みである。ちなみにオムロン セミコンダクターズは，国内最初に200mmウエハーで半導体デバイスを量産した実績がある。MEMSと電子回路を集積したチップのように，半導体デバイスやMEMSデバイスのどちらか一方しか生産していないメーカーでは事業化できない製品を開発生産していくという。

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